この装置は垂直モジュール設計構造を採用しており、複数のアクセス ドアを備えており、キャビティの独立した設置とメンテナンス、組み立て、将来のアップグレードを容易にします。ワークピースの汚染を回避するための完全密閉型精製材料ラック搬送システムを装備しています。主に光学カラーフィルムや金属フィルムを蒸着するために、ワークピースの片面または両面をコーティングできます。
装置のコーティング室は高真空状態を長時間維持し、不純物ガスが少なく、コーティングの純度が高く、屈折率も良好です。全自動のspeedflo閉ループ制御システムは、成膜速度を向上させるように構成されています。プロセスパラメータを追跡することができ、製造プロセスをプロセス全体で監視して、製造欠陥の追跡を容易にすることができます。装置は高度に自動化されています。マニピュレータと併用することで前工程と後工程を接続し、人件費を削減できます。
コーティング生産ラインはNbのコーティングに使用できます2O5、SiO2、TiO2、in、Cu、Cr、Ti、SUS、Ag等の酸化物や単体の金属材料。主に金属と光学材料を重ね合わせる光学カラーフィルム工程で使用されます。ガラスやPCなどの平らな製品に適しています。ペットおよびその他の材料。PETフィルム/複合板、ガラスカバープレート、ディスプレイスクリーンなどの製品に広く使用されています。