Peralatan kasebut nggunakake teknologi penguapan sinar elektron.Elektron dipancarake saka filamen katoda lan difokusake menyang arus balok tartamtu, sing dipercepat kanthi potensial antarane katoda lan crucible kanggo nyawiji lan nguap materi lapisan.Nduwe karakteristik Kapadhetan energi sing dhuwur lan bisa nguap bahan lapisan kanthi titik leleh luwih saka 3000 ℃.Film kasebut nduweni kemurnian dhuwur lan efisiensi termal sing dhuwur.
Peralatan kasebut dilengkapi sumber penguapan sinar elektron, sumber ion, sistem pemantauan ketebalan film, struktur koreksi ketebalan film lan sistem rotasi benda kerja payung sing stabil.Liwat lapisan dibantu sumber ion, kekompakan film saya tambah, indeks bias stabil, lan fenomena owah-owahan dawane gelombang amarga kelembapan dihindari.Sistem ngawasi wektu nyata film kanthi otomatis bisa njamin pengulangan lan stabilitas proses kasebut.Iki dilengkapi karo fungsi leleh dhewe kanggo ngurangi katergantungan ing skills operator.
Peralatan kasebut ditrapake kanggo macem-macem oksida lan bahan lapisan logam, lan bisa dilapisi karo film optik presisi multi-lapisan, kayata film AR, pass gelombang dawa, pass gelombang cendhak, film cerah, film AS / AF, IRCUT, sistem film warna. , sistem film gradient, etc. Wis digunakake digunakake ing kaca tingal AR, lensa optik, kamera, lensa optik, saringan, industri semikonduktor, etc.