Garis lapisan nganggo struktur modular, sing bisa nambah kamar miturut syarat proses lan efisiensi, lan bisa dilapisi ing sisih loro, sing fleksibel lan trep.Dilengkapi sistem reresik ion, sistem pemanasan kanthi cepet lan sistem sputtering magnetron DC, bisa nyimpen lapisan logam sing prasaja kanthi efisien.Peralatan kasebut nduweni beat cepet, clamping trep lan efisiensi dhuwur.
Garis lapisan dilengkapi reresik ion lan sistem baking suhu dhuwur, saéngga adhesi film sing disimpen luwih apik.Sputtering amba cilik karo target puteran sarujuk kanggo deposition saka film ing lumahing utama aperture cilik.
1. Peralatan nduweni struktur kompak lan area lantai cilik.
2. Sistem vakum dilengkapi pompa molekuler kanggo ekstraksi udara, kanthi konsumsi energi sing kurang.
3. Otomatis bali saka materi rak nyimpen tenaga.
4. Parameter proses bisa dilacak, lan proses produksi bisa dipantau ing kabeh proses kanggo nggampangake nelusuri cacat produksi.
5. Garis lapisan nduweni tingkat otomatisasi sing dhuwur.Bisa digunakake karo manipulator kanggo nyambungake proses ngarep lan mburi lan nyuda biaya tenaga kerja.
Bisa ngganti printing tempel perak ing proses manufaktur kapasitor, kanthi efisiensi sing luwih dhuwur lan biaya sing luwih murah.
Iki ditrapake kanggo Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn lan logam prasaja liyane.Wis akeh digunakake ing komponen elektronik semikonduktor, kayata substrat keramik, kapasitor keramik, ndhukung keramik sing dipimpin, lsp.