1. Teknologi CVD termal
Pelapisan keras biasane lapisan keramik logam (TiN, lsp), sing dibentuk kanthi reaksi logam ing lapisan lan gasifikasi reaktif.Ing wiwitan, teknologi CVD termal digunakake kanggo nyedhiyakake energi aktivasi reaksi kombinasi kanthi energi termal ing suhu dhuwur 1000 ℃.Suhu iki mung cocok kanggo nyimpen TiN lan lapisan hard liyane ing piranti karbida semen.Nganti saiki, isih dadi teknologi penting kanggo nyelehake lapisan komposit TiN-Al20 ing kepala alat karbida sing disemen.
2. Lapisan ion katoda berongga lan lapisan ion busur kawat panas
Ing taun 1980-an, lapisan ion katoda kothong lan lapisan ion busur kawat panas digunakake kanggo nyimpen alat pemotong sing dilapisi.Loro-lorone teknologi lapisan ion iki yaiku teknologi lapisan ion discharge busur, kanthi tingkat ionisasi logam nganti 20% ~ 40%.
3. Lapisan ion busur katoda
Munculé lapisan ion busur katodik wis mimpin kanggo pangembangan teknologi depositing lapisan hard ing cetakan.Tingkat ionisasi lapisan ion busur katodik yaiku 60% ~ 90%, saéngga akeh ion logam lan ion gas reaksi bisa tekan permukaan benda kerja lan isih njaga aktivitas sing dhuwur, nyebabake reaksi deposisi lan pembentukan lapisan hard kayata TiN.Saiki, teknologi lapisan ion busur katodik utamane digunakake kanggo nyelehake lapisan hard ing cetakan.
Sumber busur katoda minangka sumber penguapan negara padhet tanpa blumbang molten tetep, lan posisi sumber busur bisa diselehake kanthi sewenang-wenang, ningkatake tingkat panggunaan ruang ing kamar lapisan lan nambah kapasitas muat tungku.Wangun sumber busur katoda kalebu sumber busur katoda bunder cilik, sumber busur kolom, lan sumber busur gedhe datar persegi panjang.Komponen sing beda-beda saka sumber busur cilik, sumber busur kolom, lan sumber busur gedhe bisa disusun kanthi kapisah kanggo nyimpen film multi-lapisan lan film multilayer nano.Kangge, amarga tingkat ionisasi logam dhuwur saka cathodic busur ion nutupi, ion logam bisa nresep gas reaksi liyane, asil ing sawetara proses sudhut lan operasi prasaja kanggo njupuk lapisan hard banget.Nanging, ana tetesan kasar ing mikrostruktur lapisan lapisan sing dipikolehi dening lapisan ion busur katodik.Ing taun-taun pungkasan, akeh teknologi anyar sing muncul kanggo nyaring struktur lapisan film, sing nambah kualitas film lapisan ion busur.
——Artikel iki dirilis dening Guangdong Zhenhua Technology, aprodusen mesin coating optik.
Wektu kirim: Apr-28-2023