Proses pelapisan ion katoda berongga kaya ing ngisor iki:
1. Sijine ingot Chin ing ambruk.
2. Pemasangan benda kerja.
3, Sawise evakuasi kanggo 5 × 10-3Pa, gas argon wis ngenalaken menyang kamar nutupi saka tabung perak, lan tingkat vakum watara 100Pa.
4. Nguripake daya bias.
5, Sawise nguripake daya busur kanggo ignite discharge katoda kothong. Discharge cemlorot digawe ing tabung tombol, voltase Discharge 800 ~ 1000V, saiki busur mundhakaken 30 ~ 50A. Amarga efek katoda kothong saka cemlorot discharge, Kapadhetan saiki discharge cemlorot dhuwur, Kapadhetan dhuwur saka ion tikus ing tabung perak bombards tembok tabung vantage, Nggawe tembok tabung kanthi cepet anget nganti emisi aliran elektron, mode discharge saka discharge cemlorot owah-owahan dadakan kanggo discharge busur, Voltage punika 40 ~ 70V, Saiki 80 ~ 300A. Suhu tabung Silver tekan ndhuwur 2300K, Pijar, Emits stream Kapadhetan dhuwur saka elektron busur saka tabung, lan dijupuk menyang anode.
6. Penyesuaian level vakum. Tingkat vakum kanggo discharge cemlorot saka bedhil katoda kothong kira-kira 100 Pa, Lan tingkat vakum lapisan yaiku 8 × 10-1 ~ 2Pa. gas sanalika bisa, Nyetel tingkat vakum kanggo sawetara cocok kanggo nutupi.
7, lapisan basa dilapisi Titanium. Aliran elektron menyang ingot logam Chin sing ambruk sacara anod, Konversi energi kinetik dadi energi termal, Penguapan logam Chin kanthi pemanasan, Atom uap tekan benda kerja kanggo mbentuk film titanium.
8, Deposition saka TiN.gas nitrogen diwenehake kanggo kamar nutupi, gas nitrogen lan atom nguap sing ionized menyang nitrogen lan titanium ion.Ndhuwur crucible, Kemungkinan luwih saka tabrakan inelastic saka atom uap titanium karo kandhel lepen saka elektron kurang-energi, Tingkat disosiasi logam nganti 20% ~ 40%., Ion Titanium luwih cenderung reaksi kimia karo nitrogen gas reaksi, Deposisi kanggo entuk lapisan film mantel nitride. Gun katoda kothong minangka sumber penguapan, Sumber liyane saka ionization.Sajrone nutupi,Arus kumparan elektromagnetik sak crucible uga kudu diatur,Fokus sinar elektron menyang tengah ambruk,Mangkono, Kapadhetan daya saka aliran elektron tambah.
9, Power Off.After kekandelan film tekan predetermined film kekandelan, Pateni sumber daya busur, Bias sumber daya lan sumber online.
Wektu kirim: Jul-08-2023