Vakum ion plating (ion plating kanggo short) iku teknologi perawatan lumahing anyar kang dikembangaké kanthi cepet ing taun 1970-an, kang diusulake dening DM Mattox saka Somdia Company ing Amerika Serikat ing 1963. Iku nuduhake proses nggunakake sumber penguapan utawa sputtering. target kanggo nguap utawa sputter materi film ing atmosfer vakum.
Tilas kanggo ngasilake uap logam kanthi dadi panas lan nguap materi film, sing sebagian diionisasi dadi uap logam lan atom netral energi dhuwur ing ruang plasma discharge gas, lan tekan substrat kanggo mbentuk film liwat tumindak medan listrik. ;sing terakhir nggunakake ion energi dhuwur (Contone, Ar +) bombards lumahing materi film supaya partikel sputtered diionisasi dadi ion utawa atom Neutral energi dhuwur liwat spasi discharge gas, lan éling lumahing landasan. kanggo mbentuk film.
Artikel iki diterbitake dening Guangdong Zhenhua, pabrikanperalatan lapisan vakum
Wektu kirim: Mar-10-2023