Apa sumber polusi peralatan lapisan vakum

Ingperalatan lapisan vakumkasusun saka akeh bagean sing tepat, sing digawe liwat akeh proses, kayata welding, grinding, ngowahi, planing, boring, panggilingan lan sapiturute.Amarga karya kasebut, permukaan bagean peralatan mesthi bakal kena kontaminasi karo sawetara polutan kayata pelumas, rereget lenga, keripik logam, fluks welding, tempel polishing, tandha kringet lan liya-liyane.Polutan iki gampang diowahi ing kahanan vakum, saéngga mengaruhi vakum peralatan kasebut.

Kajaba iku, polutan vakum iki saka pangolahan mekanik nyerep akeh gas ing lingkungan tekanan atmosfer, lan ing kahanan vakum, gas-gas sing sadurunge diserap iki uga bakal dibebasake maneh, dadi faktor utama sing mbatesi vakum watesan.Mulane, polutan kudu diilangi sadurunge bagean saka mesin lapisan vakum dipasang.

Sajrone nggunakake peralatan vakum, komponen kasebut uga bakal kena kontaminasi.Nanging, polusi saka sumber iki utamane disebabake dening kondisi panggunaan lan pompa vakum.

1. Penguapan filamen ukuran vakum ing kahanan suhu dhuwur bakal nyebabake pembentukan film ing insulator keramik, sing bakal ngrusak kekuatan insulasi nganti sawetara, lan uga duwe pengaruh tartamtu ing akurasi. pangukuran;

2. Amarga penguapan suhu dhuwur, film logam bakal dibentuk ing permukaan cedhak filamen bedhil elektron ing vakum;

3. Amarga sputtering workpiece, tembok utama peralatan etching ion Beam bakal ono racune dening splashes;

4. Tembok njero peralatan lapisan penguapan vakum bakal kena kontaminasi materi target penguapan;

5. Sistem pangatusan vakum asring digunakake, lan sistem kasebut bakal kontaminasi dening zat sing nguap;

6. Minyak pompa difusi lan minyak pompa mekanik ing peralatan lapisan vakum uga dadi sumber polusi.Sawise mesin lapisan wis digunakake kanggo dangu, film lenga bisa mbentuk ing peralatan.

Kanggo nyimpulake, sanitasi vakum peralatan kalebu peralatan vakum, sistem vakum, produksi proses vakum lan aspèk lan pranala liyane, uga syarat peralatan lapisan vakum dhewe lan proses vakum khusus ing kondisi panggunaan.Mulane, polusi vakum masalah pantes manungsa waé, amarga polusi iki bakal mengaruhi kinerja peralatan, lan manungsa waé kudu mbayar kanggo reresik biasa utawa ing sembarang wektu.