Lapisan sumber penguapan tahan yaiku metode lapisan penguapan vakum dhasar."Evaporasi" nuduhake cara preparation film lancip kang materi nutupi ing kamar vakum digawe panas lan nguap, supaya atom materi utawa molekul vaporize lan uwal saka lumahing, mbentuk fénoména aliran uap, kedadean ing lumahing saka substrat utawa substrat, lan pungkasane dikondensasi dadi film sing padhet.
Cara lapisan sumber penguapan sing diarani resistensi yaiku nggunakake tantalum, molybdenum, tungsten lan logam titik leleh liyane kanggo nggawe bentuk sumber penguapan sing cocog, sing diisi bahan sing bakal nguap, supaya aliran udara liwat, langsung panas lan nguap bahan nguap, utawa sijine bahan kanggo nguap menyang alumina, beryllium oxide lan crucibles liyane kanggo dadi panas ora langsung lan penguapan.Iki minangka metode penguapan pemanasan resistensi.
Ingmesin lapisan penguapan vakumdigawe panas lan nguap dening mesin ingkang ndamel benter resistance nduweni kaluwihan saka struktur prasaja, kurang biaya lan nggunakake dipercaya.Bisa digunakake kanggo lapisan penguapan bahan kanthi titik leleh sing kurang, utamane kanggo produksi massal kanthi syarat kualitas lapisan sing kurang.Nganti saiki, isih ana akeh proses lapisan pemanasan tahan lan penguapan sing digunakake ing produksi cermin aluminisasi.
Kerugian metode lapisan penguapan sumber penguapan yaiku suhu maksimal sing bisa digayuh kanthi pemanasan diwatesi, lan umur layanan pemanas uga cendhak.Ing taun-taun pungkasan, kanggo nambah umur sumber penguapan resistance, pabrik peralatan wis nggunakake bahan keramik konduktif sing disintesis dening boron nitride kanthi umur dawa minangka sumber penguapan.Miturut laporan paten Jepang, bisa nggunakake bahan sing kasusun saka 20% ~ 30% boron nitride lan bahan refraktori sing bisa digabungake kanggo nggawe sumber penguapan (crucible), lan nutupi permukaane kanthi lapisan zirkonium sing ngemot 62% ~ 82%, lan liyane minangka bahan campuran zirkonium-silikon.
Wektu kirim: Apr-22-2023