Peralatan pembersih plasma vakum nganggo struktur terintegrasi, dilengkapi sistem reresik ion RF, kontrol otomatis kanthi otomatis, operasi lan pangopènan sing trep.
Generator frekuensi dhuwur RF bisa ngasilake plasma kapadhetan dhuwur, ngaktifake, etch lan awu permukaan workpiece, kanthi efektif mbusak bledug lan pelumas ing permukaan produk, ngeculake stres permukaan, lan entuk macem-macem modifikasi ing permukaan benda kerja.
Iki ditrapake kanggo karet, kaca, keramik, logam lan produk liyane, lan ditrapake kanggo mikroelektronik, LCD, LED, LCM, papan sirkuit PCB, kemasan semikonduktor, piranti medis, eksperimen ilmu urip lan lapangan liyane.