HFCVD0606

ქიმიური ორთქლის დეპონირების აღჭურვილობის ვაკუუმური საფარის კამერა იღებს დამოუკიდებელ ორშრიანი წყლის გაგრილების სტრუქტურას, რომელიც ეფექტური და ერთგვაროვანია გაგრილებაში და აქვს უსაფრთხო და სტაბილური სტრუქტურა.მოწყობილობა შექმნილია ორმაგი კარებით, მრავალჯერადი დაკვირვების ფანჯრებით და მრავალი გაფართოების ინტერფეისით, რაც მოსახერხებელია დამხმარე პერიფერიული მოწყობილობების გარე კავშირისთვის, როგორიცაა ინფრაწითელი ტემპერატურის გაზომვა, სპექტრული ანალიზი, ვიდეო მონიტორინგი და თერმოწყვილები.მოწინავე დიზაინის კონცეფცია ხდის აღჭურვილობის ყოველდღიურ რემონტს და შენარჩუნებას, კონფიგურაციის შეცვლას და განახლებას მარტივ და მარტივს და ეფექტურად ამცირებს გამოყენებისა და განახლების ხარჯებს.

აღჭურვილობის მახასიათებლები:

1. აღჭურვილობის ინფლაციის კომპონენტები ძირითადად მოიცავს მასის ნაკადის მრიცხველს, სოლენოიდის სარქველს და გაზის შერევის ავზს, რომლებიც უზრუნველყოფენ პროცესის გაზის ნაკადის ზუსტ კონტროლს, ერთგვაროვან შერევას და სხვადასხვა გაზების უსაფრთხო იზოლაციას და შეუძლიათ აირჩიონ გაზის სისტემის კომპონენტები გამოსაყენებლად. თხევადი გაზის წყარო, ხელს უწყობს თხევადი ნახშირბადის წყაროების ფართო სპექტრის პერსონალიზებულ შერჩევას და სინთეზური გამტარი ალმასის და ელექტროდის თხევადი ბორის წყაროების უსაფრთხო გამოყენებას.
2. ჰაერის მოპოვების ასამბლეა აღჭურვილია მდუმარე და ეფექტური მბრუნავი ვაკუუმური ტუმბოთი და ტურბო მოლეკულური ტუმბოს სისტემით, რომელსაც შეუძლია სწრაფად დააკმაყოფილოს მაღალი ვაკუუმის ფონის გარემო.კომპოზიციური ვაკუუმის ლიანდაგი წინააღმდეგობის ლიანდაგთან და იონიზაციის ლიანდაგთან ერთად გამოიყენება ვაკუუმის გაზომვისთვის, ასევე ტევადობის ფირის ლიანდაგის სისტემა, რომელსაც შეუძლია გაზომოს სხვადასხვა პროცესის აირების წნევა ფართო დიაპაზონში.დეპონირების წნევა სრულად ავტომატური კონტროლდება მაღალი სიზუსტის პროპორციული კონტროლის სარქველით.
3.გამაგრილებელი წყლის კომპონენტი აღჭურვილია მრავალარხიანი წყლის წნევის, ნაკადის, ტემპერატურის გაზომვით და პროგრამული ავტომატური მონიტორინგით.გაგრილების სხვადასხვა კომპონენტი ერთმანეთისგან დამოუკიდებელია, რაც მოსახერხებელია ხარვეზის სწრაფი დიაგნოზისთვის.ყველა ფილიალს აქვს დამოუკიდებელი სარქვლის ჩამრთველები, რაც უსაფრთხო და ეფექტურია.
4. ელექტრული კონტროლის კომპონენტები იღებენ დიდი ზომის კაცი-მანქანის ინტერფეისის LCD ეკრანს და თანამშრომლობენ PLC სრულ ავტომატურ კონტროლთან, რათა ხელი შეუწყონ პროცესის ფორმულის რედაქტირებას და იმპორტს.გრაფიკული მრუდი ვიზუალურად აჩვენებს სხვადასხვა პარამეტრის ცვლილებებსა და მნიშვნელობებს, ხოლო აღჭურვილობისა და პროცესის პარამეტრები ავტომატურად ჩაიწერება და არქივდება, რათა ხელი შეუწყოს პრობლემის მოძიებას და მონაცემთა სტატისტიკურ ანალიზს.
5. სამუშაო ნაწილის თარო აღჭურვილია სერვო ძრავით, რომელიც აკონტროლებს სუბსტრატის მაგიდის აწევას და დაწევას.შეიძლება შეირჩეს გრაფიტის ან წითელი სპილენძის სუბსტრატის მაგიდა.ტემპერატურა იზომება თერმოწყვილით.
6. თაროს კომპონენტები შეიძლება დაპროექტდეს მთლიანად ან ცალკე მომხმარებელთა მოთხოვნების შესაბამისად, რათა დააკმაყოფილოს მომხმარებელთა სპეციალური დამუშავების მოთხოვნები.
7. დალუქვის ფირფიტის კომპონენტები ლამაზი და ელეგანტურია.აღჭურვილობის სხვადასხვა ფუნქციური მოდულის უბანში დალუქვის ფირფიტები შეიძლება სწრაფად დაიშალა ან გაიხსნას და დაიხუროს დამოუკიდებლად, რაც ძალიან მოსახერხებელია გამოსაყენებლად.

ცხელი ძაფის CVD მოწყობილობა შესაფერისია ალმასის მასალების დასაფენად, მათ შორის თხელი ფირის საფარით, თვითდამჭერი სქელი ფილმით, მიკროკრისტალური და ნანოკრისტალური ბრილიანტით, გამტარი ბრილიანტით და ა. როგორიცაა სილიციუმი და სილიციუმის კარბიდი, მოწყობილობების სითბოს გაფრქვევის საფარი, ბორის დოპირებული გამტარი ალმასის ელექტროდი, ელექტროლიტური წყლის ან კანალიზაციის ოზონის დეზინფექცია.