1.რკალის მსუბუქი ელექტრონის ნაკადის მახასიათებლები
რკალის გამონადენის შედეგად წარმოქმნილ რკალის პლაზმაში ელექტრონების ნაკადის, იონური ნაკადის და მაღალენერგეტიკული ნეიტრალური ატომების სიმკვრივე გაცილებით მაღალია, ვიდრე კაშკაშა გამონადენის.საფარის სივრცეში არის მეტი აირის და ლითონის იონების იონიზებული, აღგზნებული მაღალი ენერგიის ატომები და სხვადასხვა აქტიური ჯგუფები, რომლებიც მნიშვნელოვან როლს ასრულებენ საფარის პროცესის გათბობის, გაწმენდისა და დაფარვის ეტაპებში.რკალის ელექტრონის ნაკადის მოქმედების ფორმა განსხვავდება იონური სხივისგან, რომელთაგან ყველა არ იყრის თავს „სხივში“, არამედ ძირითადად განსხვავებულ მდგომარეობაშია, ამიტომ მას რკალის ელექტრონების ნაკადი ეწოდება.იმის გამო, რომ რკალის ელექტრონები მიედინება ანოდისკენ, რკალის ელექტრონების ნაკადი მიმართულია იქ, სადაც დაკავშირებულია რკალის ელექტრომომარაგების დადებითი ელექტროდი, ხოლო ანოდი შეიძლება იყოს სამუშაო ნაწილი, დამხმარე ანოდი, ჭურჭელი და ა.შ.
2.რკალის ელექტრონის ნაკადის წარმოქმნის მეთოდი
(1) გაზის წყარო წარმოქმნის რკალის ელექტრონის ნაკადს: ღრუ კათოდური რკალის გამონადენის რკალის დენი და ცხელი მავთულის რკალის გამონადენი შეიძლება მიაღწიოს დაახლოებით 200A-ს, ხოლო რკალის ძაბვა არის 50-70V.
(2) მყარი წყარო წარმოქმნის რკალის ელექტრონის ნაკადს: კათოდური რკალის წყარო, მათ შორის მცირე რკალის წყარო, ცილინდრული რკალის წყარო, მართკუთხა სიბრტყის დიდი რკალის წყარო და ა.შ. 18-25 ვ.
მაღალი სიმკვრივის და დაბალი ენერგიის რკალის ელექტრონის ნაკადს ორი ტიპის რკალის გამონადენი პლაზმაში შეუძლია წარმოქმნას ინტენსიური შეჯახების იონიზაცია გაზისა და ლითონის ფირის ატომებთან, მიიღება მეტი გაზის იონები, ლითონის იონები და სხვადასხვა მაღალი ენერგიის აქტიური ატომები და ჯგუფები, რითაც გაუმჯობესდება. ფილმის შრის იონების საერთო აქტივობა.
-ეს სტატია გამოქვეყნდა Guangdong Zhenhua, ავაკუუმური საფარის მანქანების მწარმოებელი
გამოქვეყნების დრო: მაისი-31-2023