1. სამუშაო ნაწილის მიკერძოება დაბალია
იონიზაციის სიჩქარის გაზრდის ხელსაწყოს დამატების გამო, გამონადენის დენის სიმკვრივე იზრდება და მიკერძოებული ძაბვა მცირდება 0,5-1 კვტ-მდე.
მცირდება მაღალი ენერგიის იონების გადაჭარბებული დაბომბვის შედეგად გამოწვეული უკანა დარტყმა და სამუშაო ნაწილის ზედაპირზე დაზიანების ეფექტი.
2. გაზრდილი პლაზმური სიმკვრივე
დამატებულია შეჯახების იონიზაციის ხელშეწყობის სხვადასხვა ზომები და ლითონის იონიზაციის მაჩვენებელი 3%-დან 15%-მდე გაიზარდა.ნიკაპის იონების და მაღალენერგეტიკული ნეიტრალური ატომების, აზოტის იონების, მაღალი ენერგიის აქტიური ატომების და აქტიური ჯგუფების სიმკვრივე საფარში იზრდება, რაც ხელს უწყობს ნაერთების წარმოქმნის რეაქციას.ზემოაღნიშნული სხვადასხვა გაძლიერებული მბზინავი გამონადენის იონური საფარის ტექნოლოგიებმა შეძლეს მიიღონ TN მყარი ფირის ფენები რეაქციით დეპონირების გზით პლაზმის უფრო მაღალი სიმკვრივით, მაგრამ რადგან ისინი მიეკუთვნებიან მბზინავი გამონადენის ტიპს, გამონადენის დენის სიმკვრივე არ არის საკმარისად მაღალი (ჯერ კიდევ mA/cm2 დონე ), და პლაზმის საერთო სიმკვრივე არ არის საკმარისად მაღალი და რთულია რეაქციის დეპონირების ნაერთის დაფარვის პროცესი.
3. წერტილის აორთქლების წყაროს დაფარვის დიაპაზონი მცირეა
სხვადასხვა გაძლიერებული იონის საფარის ტექნოლოგია იყენებს ელექტრონული სხივის აორთქლების წყაროებს და განტუს, როგორც წერტილოვანი აორთქლების წყაროს, რომელიც შემოიფარგლება განტუს ზემოთ გარკვეული ინტერვალით რეაქციის დეპონირებისთვის, ამიტომ პროდუქტიულობა დაბალია, პროცესი რთულია და რთულია ინდუსტრიალიზაცია.
4. ელექტრონული იარაღი მაღალი წნევის მუშაობა
ელექტრონული იარაღის ძაბვა არის 6~30kV და სამუშაო ნაწილის მიკერძოებული ძაბვა არის 0.5~3kV, რომელიც მიეკუთვნება მაღალი ძაბვის მუშაობას და აქვს გარკვეული უსაფრთხოების საფრთხეები.
——ეს სტატია გამოქვეყნდა Guangdong Zhenhua Technology, აოპტიკური საფარის მანქანების მწარმოებელი.
გამოქვეყნების დრო: მაისი-12-2023