პლაზმური პირდაპირი პოლიმერიზაციის პროცესი

პლაზმური პირდაპირი პოლიმერიზაციის პროცესი

პლაზმური პოლიმერიზაციის პროცესი შედარებით მარტივია როგორც შიდა ელექტროდის პოლიმერიზაციის მოწყობილობებისთვის, ასევე გარე ელექტროდის პოლიმერიზაციის მოწყობილობებისთვის, მაგრამ პარამეტრის შერჩევა უფრო მნიშვნელოვანია პლაზმური პოლიმერიზაციისას, რადგან პარამეტრებს უფრო დიდი გავლენა აქვთ პოლიმერული ფირების სტრუქტურასა და შესრულებაზე პლაზმური პოლიმერიზაციის დროს.

პირდაპირი პლაზმური პოლიმერიზაციისთვის ოპერაციის ეტაპები შემდეგია:

(1) მტვერსასრუტი

ვაკუუმის პირობებში პოლიმერიზაციის ფონური ვაკუუმი უნდა ამოტუმბოს 1,3×10-1Pa-მდე.პოლიმერიზაციის რეაქციებისთვის, რომლებიც საჭიროებენ სპეციალურ მოთხოვნებს ჟანგბადის ან აზოტის შემცველობის კონტროლისთვის, ფონის ვაკუუმის მოთხოვნა კიდევ უფრო მაღალია.

(2) მუხტის რეაქციის მონომერი ან მატარებელი აირის და მონომერის შერეული აირი

ვაკუუმის ხარისხი არის 13-130Pa.პლაზმური პოლიმერიზაციისთვის, რომელიც მოითხოვს სამუშაოს, უნდა შეირჩეს ნაკადის კონტროლის შესაბამისი რეჟიმი და ნაკადის სიჩქარე, ზოგადად 10,100 მლ/წთ.პლაზმაში მონომერული მოლეკულები იონიზირებული და დისოცირებულნი არიან ენერგეტიკული ნაწილაკების დაბომბვით, რაც იწვევს აქტიურ ნაწილაკებს, როგორიცაა იონები და აქტიური გენები.პლაზმით გააქტიურებულ აქტიურ ნაწილაკებს შეუძლიათ გაიარონ პლაზმური პოლიმერიზაცია გაზის და მყარი ფაზის ინტერფეისზე.მონომერი არის პლაზმური პოლიმერიზაციის წინამორბედის წყარო, ხოლო შემავალი რეაქციის გაზი და მონომერი უნდა იყოს გარკვეული სისუფთავე.

(3) აგზნების ელექტრომომარაგების შერჩევა

პლაზმის წარმოქმნა შესაძლებელია DC, მაღალი სიხშირის, RF ან მიკროტალღური ენერგიის წყაროების გამოყენებით, რათა უზრუნველყოს პლაზმური გარემო პოლიმერიზაციისთვის.ელექტრომომარაგების შერჩევა განისაზღვრება პოლიმერის სტრუქტურისა და მუშაობის მოთხოვნების საფუძველზე.

(4) გამონადენის რეჟიმის შერჩევა

პოლიმერული მოთხოვნებისთვის, პლაზმური პოლიმერიზაციას შეუძლია აირჩიოს გამონადენის ორი რეჟიმი: უწყვეტი გამონადენი ან პულსის გამონადენი.

(5) გამონადენის პარამეტრების შერჩევა

პლაზმური პოლიმერიზაციის ჩატარებისას, გამონადენის პარამეტრები უნდა იქნას გათვალისწინებული პლაზმური პარამეტრების, პოლიმერის თვისებებისა და სტრუქტურის მოთხოვნებიდან გამომდინარე.პოლიმერიზაციის დროს გამოყენებული სიმძლავრის სიდიდე განისაზღვრება ვაკუუმის კამერის მოცულობით, ელექტროდის ზომით, მონომერის ნაკადის სიჩქარითა და სტრუქტურით, პოლიმერიზაციის სიჩქარით და პოლიმერის სტრუქტურითა და ფუნქციონირებით.მაგალითად, თუ რეაქციის კამერის მოცულობა არის 1 ლიტრი და მიღებულია RF პლაზმური პოლიმერიზაცია, გამონადენის სიმძლავრე იქნება 10-30 ვტ დიაპაზონში.ასეთ პირობებში, წარმოქმნილი პლაზმა შეიძლება გაერთიანდეს და შექმნას თხელი ფილმი სამუშაო ნაწილის ზედაპირზე.პლაზმური პოლიმერიზაციის ფირის ზრდის ტემპი იცვლება ელექტრომომარაგების, მონომერის ტიპისა და ნაკადის სიჩქარისა და პროცესის პირობების მიხედვით.ზოგადად, ზრდის ტემპი არის 100 ნმ/წთ~1მმ/წთ.

(6) პარამეტრის გაზომვა პლაზმის პოლიმერიზაციაში

პლაზმის პოლიმერიზაციისას გასაზომი პლაზმური პარამეტრები და პროცესის პარამეტრები მოიცავს: გამონადენის ძაბვას, გამონადენის დენს, გამონადენის სიხშირეს, ელექტრონის ტემპერატურას, სიმკვრივეს, რეაქციის ჯგუფის ტიპს და კონცენტრაციას და ა.შ.

——ეს სტატია გამოქვეყნდა Guangdong Zhenhua Technology, აოპტიკური საფარის მანქანების მწარმოებელი.