HFCVD0606

Химиялық бу тұндыру жабдығының вакуумдық жабын камерасы салқындату кезінде тиімді және біркелкі және қауіпсіз және тұрақты құрылымы бар тәуелсіз екі қабатты суды салқындату құрылымын қабылдайды.Жабдық қос есіктермен, бірнеше бақылау терезелерімен және бірнеше кеңейту интерфейстерімен жасалған, бұл инфрақызыл температураны өлшеу, спектрлік талдау, бейне бақылау және термопара сияқты қосалқы перифериялық құрылғыларды сыртқы қосу үшін ыңғайлы.Жетілдірілген дизайн тұжырымдамасы күнделікті күрделі жөндеу мен техникалық қызмет көрсетуді, конфигурацияны өзгертуді және жабдықты жаңартуды оңай және қарапайым етеді және пайдалану мен жаңарту шығындарын тиімді азайтады.

Жабдықтың ерекшеліктері:

1. Жабдықтың инфляция құрамдас бөліктері негізінен технологиялық газ ағынын дәл бақылауды, біркелкі араластыруды және әртүрлі газдарды қауіпсіз оқшаулауды қамтамасыз ететін масса шығынын өлшегіш, электромагниттік клапан және газ араластырғыш цистернаны қамтиды және пайдалану үшін газ жүйесінің компоненттерін таңдай алады. сұйық газ көзі, сұйық көміртек көздерінің кең ауқымын жеке таңдауды жеңілдетеді және синтетикалық өткізгіш алмас пен электродты сұйық бор көздерін қауіпсіз пайдалану.
2.Ауаны сору жинағы үнсіз және тиімді айналмалы қалақшалы вакуумдық сорғымен және жоғары вакуумды фондық ортаны тез қанағаттандыра алатын турбомолекулярлық сорғы жүйесімен жабдықталған.Вакуумды өлшеу үшін қарсылық өлшегіші және иондану өлшегіші бар композиттік вакуум өлшегіш, сондай-ақ кең диапазондағы әртүрлі технологиялық газдардың қысымын өлшей алатын сыйымдылық пленкалы өлшегіш жүйесі қолданылады.Тұндыру қысымы жоғары дәлдіктегі пропорционалды басқару клапаны арқылы толығымен автоматты түрде басқарылады.
3. Салқындатқыш судың құрамдас бөлігі көп арналы су қысымы, ағын, температураны өлшеу және автоматты бақылау бағдарламалық құралымен жабдықталған.Әртүрлі салқындату компоненттері бір-бірінен тәуелсіз, бұл ақауларды жылдам диагностикалауға ыңғайлы.Барлық филиалдарда тәуелсіз клапан ажыратқыштары бар, бұл қауіпсіз және тиімді.
4. Электрлік басқару компоненттері үлкен өлшемді адам-машина интерфейсі СКД экранын қабылдайды және процесс формуласын өңдеу мен импорттауды жеңілдету үшін PLC толық автоматты басқаруымен ынтымақтасады.Графикалық қисық әртүрлі параметрлердің өзгерістері мен мәндерін көрнекі түрде көрсетеді, ал жабдық пен процесс параметрлері ақаулықтарды іздеуді және деректерді статистикалық талдауды жеңілдету үшін автоматты түрде жазылады және мұрағатталады.
5.Дайындаманың тірегі субстрат үстелін көтеру және түсіруді басқару үшін сервомотормен жабдықталған.Графит немесе қызыл мыс субстрат кестесін таңдауға болады.Температура термопар арқылы өлшенеді.
6.Төренің құрамдас бөліктері тұтынушылардың арнайы өңдеу талаптарын қанағаттандыру үшін тұтынушы талаптарына сәйкес тұтас немесе бөлек жобалануы мүмкін.
7. Тығыздау тақтасының құрамдас бөліктері әдемі және талғампаз.Жабдықтың әртүрлі функционалдық модуль аймақтарындағы тығыздағыш тақталарды тез бөлшектеуге немесе дербес ашуға және жабуға болады, бұл пайдалану өте ыңғайлы.

Ыстық жіпті CVD жабдығы алмаз материалдарын, соның ішінде жұқа қабықшаны, өздігінен тұратын қалың пленканы, микрокристалды және нанокристалды алмазды, өткізгіш алмазды және т.б. салуға жарамды. Ол негізінен цементтелген карбидті кескіш құралдардың, жартылай өткізгіш материалдардың тозуға төзімді қорғаныс жабыны үшін қолданылады. кремний және кремний карбиді, құрылғылардың жылу диссипациялық жабыны, бор қоспасы бар өткізгіш алмаз электроды, электролиттік суды озонмен залалсыздандыру немесе ағынды суларды тазарту сияқты.