Жабдық магнетронды шашырату және қарсылық булану технологиясын біріктіреді және әртүрлі субстраттарды жабу үшін шешім ұсынады.
Эксперименттік жабын жабдықтары негізінен университеттер мен ғылыми-зерттеу мекемелерінде қолданылады және әртүрлі эксперименттік талаптарға жауап бере алады.Әртүрлі салалардағы ғылыми зерттеулер мен әзірлемелерді қанағаттандыру үшін икемді түрде конфигурацияланатын жабдық үшін әртүрлі құрылымдық мақсаттар сақталған.Магнетронды шашырату жүйесі, катодты доғалық жүйе, электронды сәулелік булану жүйесі, қарсылық булану жүйесі, CVD, PECVD, ион көзі, ығысу жүйесі, жылыту жүйесі, үш өлшемді арматура және т.б. таңдауға болады.Клиенттер әртүрлі қажеттіліктеріне сәйкес таңдай алады.
Жабдық әдемі сыртқы түрі, ықшам құрылымы, шағын еден ауданы, автоматтандырудың жоғары дәрежесі, қарапайым және икемді жұмыс, тұрақты өнімділік және жеңіл техникалық қызмет көрсету сипаттамаларына ие.
Жабдықты пластмассаға, тот баспайтын болаттан, электропластикалық бұйымдарға/пластикалық бөлшектерге, шыныға, керамикаға және басқа материалдарға қолдануға болады.Титан, хром, күміс, мыс, алюминий сияқты қарапайым металл қабаттарын немесе TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC сияқты металдың қосынды қабықшаларын дайындауға болады.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(мм) | φ600*H800(мм) | φ800*H1000(мм) |