Химиялық буларды тұндыру (CVD) технологиясы - қалыпты немесе төмен қысымда химиялық реакция арқылы субстрат бетінде газтәрізді заттарды қатты қабықшалар жасау үшін қыздыру, плазманы жақсарту, фотокөмекші және басқа құралдарды пайдаланатын пленка түзетін технология.
Жалпы, әрекеттесуші зат газ және өнімдердің бірі қатты зат болатын реакция CVD реакциясы деп аталады.CVD реакциясы арқылы дайындалған жабындардың көптеген түрлері бар, әсіресе жартылай өткізгіш процесінде.Мысалы, жартылай өткізгіштер саласында шикізатты тазарту, жоғары сапалы жартылай өткізгішті монокристалды пленкаларды дайындау, электронды құрылғылардан бастап интегралдық схемаларға дейін поликристалды және аморфты пленкалардың өсуі CVD технологиясымен байланысты.Сонымен қатар, материалдардың бетін өңдеу адамдарға ұнайды.Мысалы, машиналар, реакторлар, аэроғарыштық, медициналық және химиялық жабдықтар сияқты әртүрлі материалдар коррозияға төзімділік, ыстыққа төзімділік, тозуға төзімділік және бетті нығайту үшін CVD пленка қалыптастыру әдісімен олардың әртүрлі талаптарына сәйкес функционалды жабындарды дайындау үшін пайдаланылуы мүмкін.
—— Бұл мақаланы өндіруші Гуандун Чжэнхуа жарияладывакуумды жабуға арналған жабдық
Жіберу уақыты: 04 наурыз 2023 ж