1.Доғалық жарық электрон ағынының сипаттамасы
Доғалық разряд нәтижесінде пайда болған доғалық плазмадағы электрон ағынының, ион ағынының және жоғары энергиялы бейтарап атомдардың тығыздығы жарқырау разрядына қарағанда әлдеқайда жоғары.Қаптау кеңістігінде газ иондары мен металл иондары иондалған, қоздырылған жоғары энергиялы атомдар және әртүрлі белсенді топтар бар, олар жабу процесінің қыздыру, тазалау және жабу кезеңдерінде маңызды рөл атқарады.Доғалық электрондар ағынының әсер ету формасы иондар шоғырынан ерекшеленеді, олардың барлығы «сәулеге» біріктірілмейді, бірақ көбінесе дивергентті күйде болады, сондықтан оны доғалық электрондар ағыны деп атайды.Доғалық электрондар анодқа қарай ағатындықтан, доғалық электрондар ағыны доғалық қоректендіру көзінің оң электроды қосылған жерге бағытталады, ал анод дайындама, көмекші анод, тигель және т.б.
2.Доғалық электрондар ағынын құру әдісі
(1) Газ көзі доғалық электрон ағынын жасайды: қуыс катод доғасының разрядының доға тогы және ыстық сымның доғалық разряды шамамен 200А жетуі мүмкін, ал доға кернеуі 50-70 В.
(2) Қатты көз доғалық электрон ағынын тудырады: катодты доға көзі, соның ішінде кіші доға көзі, цилиндрлік доға көзі, тікбұрышты жазықтықтағы үлкен доға көзі және т.б.. Әрбір катод доға көзі разрядының доға тогы 80-200А, ал доға кернеуі 18-25 В.
Доғалық разряд плазмасының екі түріндегі жоғары тығыздықтағы және төмен энергиялы доғалық электрондар ағыны газ және металл қабықшасының атомдарымен қарқынды соқтығыс ионизациясын тудыруы мүмкін, көбірек газ иондарын, металл иондарын және әртүрлі жоғары энергиялы белсенді атомдар мен топтарды алады, осылайша жақсартады. пленка қабаты иондарының жалпы белсенділігі.
– Бұл мақаланы Гуандун Чжэнхуа, авакуумды қаптау машинасының өндірушісі
Хабарлама уақыты: 31 мамыр 2023 жыл