① Жақсы бақылау және пленка қалыңдығының қайталану мүмкіндігі
Қабыршақтың қалыңдығын алдын ала анықталған мәнде басқаруға болатындығы пленка қалыңдығын басқару мүмкіндігі деп аталады.Қажетті пленка қалыңдығы бірнеше рет қайталануы мүмкін, бұл пленка қалыңдығының қайталануы деп аталады. Өйткені вакуумды шашыратқыш жабынның разряд тогы мен мақсатты тогын бөлек басқаруға болады.Сондықтан шашыраған пленканың қалыңдығын бақылауға болады, ал алдын ала белгіленген қалыңдығы бар пленканы сенімді түрде қоюға болады.Сонымен қатар, шашыратқыш жабын үлкен бетінде біркелкі қалыңдығы бар пленканы ала алады.
② Қабық пен субстрат арасындағы күшті адгезия
Шашыратылған атомдардың энергиясы буланған атомдардың энергиясынан 1-2 рет жоғары.Субстратқа тұндырылған жоғары энергиялы шашыраған атомдардың энергия түрлендіруі буланған атомдарға қарағанда анағұрлым жоғары, бұл жоғары жылу шығарады және шашыраған атомдар мен субстрат арасындағы адгезияны күшейтеді.Сонымен қатар, кейбір жоғары энергиялы шашыраған атомдар субстратта псевдодиффузия қабатын құра отырып, инъекцияның әртүрлі дәрежесін жасайды.Сонымен қатар, пленканы қалыптастыру процесі кезінде субстрат әрқашан тазаланады және плазмалық аймақта белсендіріледі, ол әлсіз адгезиясы бар шашыратушы атомдарды жояды және субстрат бетін тазартады және белсендіреді.Сондықтан шашыраған пленка субстратқа күшті адгезияға ие.
③ Мақсаттан өзгеше жаңа материалды пленка дайындауға болады
Егер реактивті газ нысанамен әрекеттесуі үшін бүрку кезінде енгізілсе, нысанадан мүлде басқа жаңа материалды қабықша алуға болады.Мысалы, кремний бүрку мақсаты ретінде пайдаланылады, ал оттегі мен аргон вакуумдық камераға бірге салынады.Бүркуден кейін SiOz оқшаулағыш пленка алуға болады.Шашырату нысанасы ретінде титанды пайдаланып, азот пен аргон вакуумдық камераға бірге салынады және шашыратқаннан кейін фазалық TiN алтын тәрізді пленканы алуға болады.
④ Жоғары тазалық пен фильмнің жақсы сапасы
Шашыратушы пленканы дайындау құрылғысында тигель құрамдас бөлігі болмағандықтан, тигель қыздырғыш материалының құрамдастары шашыратқыш пленка қабатында араласпайды.Шашыратушы жабынның кемшіліктері булану жабынына қарағанда қабықшаның түзілу жылдамдығының баяу болуы, субстрат температурасының жоғары болуы, қоспа газының әсер етуі оңай және құрылғының құрылымы күрделірек.
Бұл мақаланы өндіруші Гуандун Чжэнхуа жарияладывакуумды жабуға арналған жабдық
Жіберу уақыты: 09 наурыз 2023 ж