1. Дайындаманың қисаюы төмен
Иондалу жылдамдығын арттыру үшін құрылғыны қосудың арқасында разрядтық токтың тығыздығы артады, ал ығысу кернеуі 0,5~1кВ дейін төмендейді.
Жоғары энергиялы иондардың шамадан тыс бомбалауынан туындайтын кері соққы және дайындама бетіне зақым әсері азаяды.
2. Плазма тығыздығының жоғарылауы
Соқтығысу ионизациясын ынталандыру үшін әртүрлі шаралар қосылды және металдың иондану жылдамдығы 3% -дан 15% -ға дейін өсті.Жабу камерасындағы иек иондары мен жоғары энергиялы бейтарап атомдардың, азот иондарының, жоғары энергиялы белсенді атомдардың және белсенді топтардың тығыздығы жоғарылайды, бұл қосылыстар түзу реакциясына қолайлы.Жоғарыда жоғарыда көрсетілген әртүрлі жақсартылған жарқырау разрядты ионды жабу технологиялары жоғары плазмалық тығыздықта реакциялық тұндыру арқылы TN қатты қабықша қабаттарын алуға мүмкіндік алды, бірақ олар жарқырау разрядының түріне жататындықтан, разряд тоғының тығыздығы жеткілікті жоғары емес (әлі де мА/см2 деңгейі). ), және жалпы плазма тығыздығы жеткілікті жоғары емес, және реакциялық тұндыру қосылыс жабу процесі қиын.
3. Нүктелік булану көзінің жабу диапазоны аз
Әртүрлі жетілдірілген ионды жабын технологиялары электронды сәулелік булану көздерін, ал гантуды нүктелік булану көзі ретінде пайдаланады, ол реакция тұндыру үшін гантудан жоғары белгілі бір интервалмен шектеледі, сондықтан өнімділік төмен, процесс қиын және индустрияландыру қиын.
4. Электрондық мылтық жоғары қысыммен жұмыс істеу
Электрондық тапаншаның кернеуі 6~30кВ, ал дайындаманың ығысу кернеуі 0,5~3кВ, ол жоғары вольтты жұмысқа жатады және белгілі бір қауіпсіздік қауіптері бар.
——Бұл мақаланы Guangdong Zhenhua Technology, аоптикалық қаптау машиналарын өндіруші.
Хабарлама уақыты: 12 мамыр 2023 ж