Ыстық сым доғасының жақсартылған плазмалық химиялық бу тұндыру технологиясы доғалық плазманы шығару үшін ыстық сым доғалы пистолетті пайдаланады, қысқартылған ыстық сым доғасы PECVD технологиясы.Бұл технология ыстық сым доғалы пистолетті ионмен жабу технологиясына ұқсас, бірақ айырмашылығы мынада: ыстық сым доғалы пистолетті иондық жабын арқылы алынған қатты пленка ыстық сым доғалы пистолеттен шығатын доғалық жарық электрон ағынын металды қыздыру және булану үшін пайдаланады. тигель, ал ыстық сым доға шамы PECVD алмаз қабықшаларын тұндыру үшін қолданылатын CH4 және H2 сияқты реакциялық газдармен қоректенеді.Ыстық сым доғалық пистолеттен шығатын жоғары тығыздықты доғалық разрядтық токқа сүйене отырып, реактивті газ иондары әртүрлі белсенді бөлшектерді, соның ішінде газ иондарын, атомдық иондарды, белсенді топтарды және т.б. алу үшін қозғалады.
Ыстық сымды доғалық PECVD құрылғысында екі электромагниттік катушкалар жабын бөлмесінің сыртында әлі де орнатылған, бұл анодқа қарай қозғалыс кезінде жоғары тығыздықтағы электрон ағынының айналуын тудырады, электрон ағыны мен реакция газы арасындағы соқтығысу және иондану ықтималдығын арттырады. .Электромагниттік катушка сонымен қатар бүкіл тұндыру камерасының плазмалық тығыздығын арттыру үшін доға бағанына біріктірілуі мүмкін.Доғалық плазмада бұл белсенді бөлшектердің тығыздығы жоғары, бұл алмаз пленкаларын және басқа пленка қабаттарын дайындамаға салуды жеңілдетеді.
——Бұл мақаланы Guangdong Zhenhua Technology, аоптикалық қаптау машиналарын өндіруші.
Жіберу уақыты: 05 мамыр 2023 ж