1. Термиялық CVD технологиясы
Қатты жабындар көбінесе металл керамикалық жабындар (TiN және т.б.), олар жабындағы металдың реакциясы және реактивті газдандыру нәтижесінде пайда болады.Алдымен термиялық CVD технологиясы 1000 ℃ жоғары температурада жылу энергиясы арқылы комбинация реакциясының белсендіру энергиясын қамтамасыз ету үшін пайдаланылды.Бұл температура тек цементтелген карбидті құралдарға TiN және басқа қатты жабындарды қою үшін жарамды.Әзірге бұл цементтелген карбидті құрал бастарына TiN-Al20 композиттік жабындарын салудың маңызды технологиясы болып табылады.
2. Қуыс катодты ионды жабын және ыстық сымның доғалы ионды жабыны
1980 жылдары қапталған кескіш құралдарды тұндыру үшін қуыс катодты ионды жабын және ыстық сымның доғалы ионды жабыны пайдаланылды.Бұл ионды жабу технологиясының екеуі де металды иондандыру жылдамдығы 20% ~ 40% дейін болатын доғалық разрядты ионды жабу технологиялары болып табылады.
3. Катодты доғалық ионды жабын
Катодтық доғалы ионды жабынның пайда болуы қалыптарға қатты жабындарды тұндыру технологиясының дамуына әкелді.Катодтық доғалы ионды жабынның иондану жылдамдығы 60% ~ 90% құрайды, бұл көптеген металл иондары мен реакциялық газ иондарының дайындаманың бетіне жетуіне және әлі де жоғары белсенділікті сақтауға мүмкіндік береді, нәтижесінде реакция шөгінділері және қатты жабындар пайда болады. Қалайы.Қазіргі уақытта катодтық доғалы ионды жабу технологиясы негізінен қалыптарға қатты жабындарды салу үшін қолданылады.
Катодты доға көзі бекітілген балқытылған бассейні жоқ қатты күйдегі булану көзі болып табылады және доға көзінің позициясын ерікті түрде орналастыруға болады, бұл жабын бөлмесінің кеңістігін пайдалану жылдамдығын жақсартады және пештің жүктеу қабілетін арттырады.Катодты доға көздерінің пішіндеріне кіші дөңгелек катодты доға көздері, бағаналы доға көздері және тік бұрышты жалпақ үлкен доға көздері жатады.Кішкентай доға көздерінің, бағаналы доға көздерінің және үлкен доға көздерінің әртүрлі құрамдас бөліктері көп қабатты пленкалар мен нанокөпқабатты қабыршақтарды орналастыру үшін бөлек орналастырылуы мүмкін.Сонымен қатар, катодтық доғалы ионды жабынның жоғары металл иондану жылдамдығына байланысты металл иондары реакциялық газдарды көбірек сіңіре алады, нәтижесінде кең процесс диапазоны және тамаша қатты жабындарды алу үшін қарапайым операция жасалады.Дегенмен, катодтық доғалы ионды жабу арқылы алынған жабын қабатының микроқұрылымында ірі тамшылар бар.Соңғы жылдары пленка қабатының құрылымын нақтылау үшін көптеген жаңа технологиялар пайда болды, бұл доғалы ионды жабын пленкасының сапасын жақсартты.
——Бұл мақаланы Guangdong Zhenhua Technology, аоптикалық қаптау машиналарын өндіруші.
Жіберу уақыты: 28 сәуір-2023 ж