Плазманың тікелей полимерлену процесі
Плазмалық полимерлеу процесі ішкі электродты полимерлеу жабдығы үшін де, сыртқы электродты полимерлеу жабдығы үшін де салыстырмалы түрде қарапайым, бірақ плазмалық полимерлеуде параметрді таңдау маңыздырақ, өйткені плазмалық полимерлеу кезінде параметрлер полимер қабықшаларының құрылымы мен өнімділігіне көбірек әсер етеді.
Тікелей плазма полимерленуінің операция қадамдары келесідей:
(1) Шаңсорғыш
Вакуум жағдайында полимерлеудің фондық вакуумын 1,3×10-1Па дейін айдау керек.Оттегі немесе азот құрамын бақылау үшін арнайы талаптарды қажет ететін полимерлеу реакциялары үшін фондық вакуумға қойылатын талап одан да жоғары.
(2) Зарядтау реакциясының мономері немесе тасымалдаушы газ бен мономердің аралас газы
Вакуумдық дәрежесі 13-130Па.Жұмысты қажет ететін плазмалық полимерлеу үшін сәйкес ағынды басқару режимі мен ағын жылдамдығы таңдалуы керек, әдетте 10,100 мл/мин.Плазмада мономер молекулалары ионданады және энергетикалық бөлшектерді бомбалау арқылы диссоциацияланады, нәтижесінде иондар мен белсенді гендер сияқты белсенді бөлшектер пайда болады.Плазма арқылы белсендірілген белсенді бөлшектер газ фазасы мен қатты фазаның интерфейсінде плазмалық полимерлеуден өте алады.Мономер плазмалық полимерлеудің прекурсорының көзі болып табылады және кіріс реакциясы газы мен мономер белгілі бір тазалыққа ие болуы керек.
(3) Қоздыру қуат көзін таңдау
Плазманы полимерлеу үшін плазмалық ортаны қамтамасыз ету үшін тұрақты ток, жоғары жиілікті, RF немесе микротолқынды қуат көздерін пайдалану арқылы жасауға болады.Электрмен жабдықтауды таңдау полимердің құрылымы мен өнімділігіне қойылатын талаптар негізінде анықталады.
(4) Разряд режимін таңдау
Полимерге қойылатын талаптар үшін плазмалық полимерлеу екі разряд режимін таңдай алады: үздіксіз разряд немесе импульстік разряд.
(5) Разряд параметрлерін таңдау
Плазмалық полимерлеуді жүргізген кезде разрядтық параметрлерді плазма параметрлерінен, полимер қасиеттерінен және құрылымдық талаптардан ескеру қажет.Полимерлеу кезінде қолданылатын қуаттың шамасы вакуумдық камераның көлемімен, электрод өлшемімен, мономер ағынының жылдамдығымен және құрылымымен, полимерлену жылдамдығымен және полимер құрылымымен және өнімділігімен анықталады.Мысалы, егер реакция камерасының көлемі 1 л болса және РЖ плазмасының полимерленуі қабылданса, разряд қуаты 10~30 Вт диапазонында болады.Мұндай жағдайларда түзілген плазма дайындаманың бетінде жұқа қабықша түзу үшін біріктірілуі мүмкін.Плазмалық полимерлеу пленкасының өсу жылдамдығы қуат көзіне, мономер түріне және ағынының жылдамдығына және процестің шарттарына байланысты өзгереді.Әдетте, өсу жылдамдығы 100нм/мин~1ум/мин.
(6) Плазма полимерлеуіндегі параметрді өлшеу
Плазмалық полимерлеу кезінде өлшенетін плазма параметрлері мен процестің параметрлері мыналарды қамтиды: разряд кернеуі, разряд тогы, разряд жиілігі, Электронның температурасы, тығыздығы, реакция тобының түрі мен концентрациясы және т.б.
——Бұл мақаланы Guangdong Zhenhua Technology, аоптикалық қаптау машиналарын өндіруші.
Жіберу уақыты: 05 мамыр 2023 ж