1. Бомбалауды тазалау субстраты
1.1) Бүріккіш жабын машинасы субстратты тазалау үшін жарқырауды пайдаланады.Яғни, аргон газын камераға зарядтаңыз, разряд кернеуі шамамен 1000 В, қуат көзін қосқаннан кейін жарқырау разряды пайда болады және субстрат аргон ионының бомбалауымен тазартылады.
1.2) Өнеркәсіптік түрде жоғары деңгейлі әшекейлер шығаратын шашыратқыш қаптау машиналарында тазалау үшін көбінесе шағын доға көздерінен шығарылатын титан иондары қолданылады.Шашыратушы жабын машинасы кішкене доға көзімен жабдықталған, ал доғаның шағын разрядынан туындайтын доға плазмасындағы титан ионының ағыны субстратты бомбалау және тазалау үшін пайдаланылады.
2. Титан нитриді жабыны
Титан нитриді жұқа қабықшаларды тұндыру кезінде шашырату үшін мақсатты материал титан нысанасы болып табылады.Мақсатты материал шашыратқыш қуат көзінің теріс электродына қосылған, ал мақсатты кернеу 400 ~ 500 В;Аргон ағыны бекітілген, ал бақылау вакуумы (3~8) x10-1PA.Субстрат кернеуі 100~200В болатын ығысу қуат көзінің теріс электродына қосылған.
Шашыратушы титан нысанасының қуат көзін қосқаннан кейін жарқырау разряды пайда болады және жоғары энергиялы аргон иондары титан атомдарын нысанадан шашыратып шашыратқыш нысананы бомбалайды.
Реакцияға газ азоты енгізіледі, ал титан атомдары мен азот жабын камерасында титан иондарына және азот иондарына иондалады.Субстратқа қолданылатын теріс ығысқан электр өрісінің тартылуымен титан иондары мен азот иондары титан нитриді қабықшасын қалыптастыру үшін химиялық реакция және тұндыру үшін субстрат бетіне жылдамдатады.
3. Субстратты алыңыз
Алдын ала белгіленген пленка қалыңдығына жеткеннен кейін шашыратқыш қуат көзін, субстрат ығысу қуат көзін және ауа көзін өшіріңіз.Субстрат температурасы 120 ℃ төмен болғаннан кейін жабын камерасын ауамен толтырып, субстратты алыңыз.
Бұл мақаланы жариялағанмагнетронды шашыратқыш жабын машинасының өндірушісі– Гуандун Чжэнхуа.
Жіберу уақыты: 07 сәуір 2023 ж