Қуыс катодты ионды жабу процесі келесідей:
1、Иек құймаларын опырылған жерге салыңыз.
2, Дайындаманы орнату.
3、5×10-3Па дейін эвакуациялаудан кейін күміс түтіктен жабын камерасына аргон газы енгізіледі, ал вакуум деңгейі 100Па шамасында болады.
4、Қиял қуатын қосыңыз.
5、доға қуатын қосқаннан кейін катодты қуыс разрядты тұтандырады. Жарқырау разряды түйме түтігінде пайда болады, разряд кернеуі 800~1000В, доғаны көтеру тогы 30~50А. Жарықтың қуыс катодтық әсерінен. разряд, жоғары жарқырау разряд тоғының тығыздығы, күміс түтіктегі егеуқұйрық иондарының жоғары тығыздығы вантаждық түтіктің қабырғасын бомбалайды, түтік қабырғасын электрон ағынының эмиссиясына дейін тез қыздырыңыз, жарқырау разрядынан разряд режимі кенеттен өзгереді. доғалық разряд,Кернеу 40~70В,Ток 80~300A. Күміс түтік температурасы 2300K-дан жоғары жетеді, Қыздыру шамы, Түтіктен доғалық электрондардың тығыздығы жоғары ағынын шығарады және анодқа түсіреді.
6、Вакуум деңгейін реттеу. Қуыс катодты пистолеттен жарқырау разряды үшін вакуум деңгейі шамамен 100 Па, ал вакуумдық жабын дәрежесі 8×10-1~2Па. Сондықтан, доға разряды тұтанғаннан кейін, кіріс аргонды азайтыңыз газды мүмкіндігінше тезірек, вакуум деңгейін жабуға қолайлы диапазонға реттеңіз.
7、Титан жалатылған негіз қабаты. Анодты түрде құлаған иек металының құймасына электрон ағыны, кинетикалық энергияның жылу энергиясына айналуы, қыздыру арқылы иек металының булануы, титан пленкасын қалыптастыру үшін бу атомдары дайындамаға жетеді.
8、TiN тұндыру. Азот газы жабу камерасына беріледі, Азот газы және буланған атомдар азот және титан иондарына иондалады. Тигельдің үстінде, Төмен энергияның тығыз ағындарымен титан буының атомдарының серпімді емес соқтығысуы ықтималдығы жоғары, Металлдың диссоциациялану жылдамдығы 20% ~ 40% дейін жоғары., Титан иондары реакция газы азотымен химиялық реакцияға түсу ықтималдығы жоғары, Нитридті мантия пленка қабатын алу үшін тұндыру. Қуыс катодты пистолет булану көзі болып табылады， Басқа көз иондану. Қаптау кезінде, Тигель айналасындағы электромагниттік катушканың тогы да реттелуі керек, Электрондық сәулені құлдырау орталығына бағыттаңыз, Осылайша, электрон ағынының қуат тығыздығы артады.
9、Қуатты өшіріңіз.Пленка қалыңдығы алдын ала белгіленген пленка қалыңдығына жеткеннен кейін, доғалық қуат көзін өшіріңіз, ығысу қуат көзі мен ауа беру.
Жіберу уақыты: 08 шілде 2023 ж