Кіші доға көзімен ионды жабу процесі

Катодтық доға көзімен ионды жабу процесі негізінен басқа жабын технологияларымен бірдей және дайындамаларды орнату және вакуумдау сияқты кейбір операциялар енді қайталанбайды.

1.Дайындамаларды бомбалаумен тазалау

Жабу алдында 2×10-2Па вакууммен қаптау камерасына аргон газы енгізіледі.

Жұмыс циклі 20% және дайындама 800-1000 В болатын импульстік ығысу қуат көзін қосыңыз.

Доғаның қуатын қосқанда доға көзінен көп мөлшерде электрон тогы мен титан иондық тоғын шығаратын, тығыздығы жоғары плазманы құрайтын суық өріс доғалық жарық разряды пайда болады.Титан ионы дайындамаға түсірілген теріс жоғары ығысу қысымы кезінде дайындамаға айдалуын жылдамдатады, дайындаманың бетіне адсорбцияланған қалдық газды және ластаушы заттарды бомбалап, шашыратады, дайындаманың бетін тазартады және тазартады;Бұл кезде қаптау камерасындағы хлор газы электрондармен иондалады, ал аргон иондары дайындама бетін бомбалауды тездетеді.

Сондықтан бомбалаумен тазалау әсері жақсы.Тек 1 минуттық бомбалаумен тазалау дайындаманы тазарта алады, ол «негізгі доғалық бомбалау» деп аталады.Титан иондарының массасы жоғары болғандықтан, дайындаманы тым ұзақ бомбалау және тазалау үшін кішкене доға көзі пайдаланылса, дайындаманың температурасы қызып кетуге бейім болады, ал құрал шеті жұмсақ болуы мүмкін.Жалпы өндірісте шағын доға көздері жоғарыдан төмен қарай бір-бірден қосылады және әрбір шағын доға көзінің бомбалаумен тазалау уақыты шамамен 1 минутты құрайды.

（1） Титанның астыңғы қабатын жабу

Пленка мен субстрат арасындағы адгезияны жақсарту үшін, әдетте, титан нитридімен жабу алдында таза титан субстратының қабаты жабылады.Вакуум деңгейін 5×10-2-3×10-1Па дейін реттеңіз, дайындаманың ығысу кернеуін 400-500В дейін реттеңіз және импульстік ығысу қуат көзінің жұмыс циклін 40% ~ 50% дейін реттеңіз.Суық өріс доғасының разрядын жасау үшін кішкентай доға көздерін бір-бірлеп тұтандырады.Дайындаманың теріс ығысу кернеуінің төмендеуіне байланысты титан иондарының энергиясы азаяды.Дайындамаға жеткеннен кейін шашырату әсері тұндыру әсерінен аз болады және титан нитриді қатты қабықша қабаты мен субстрат арасындағы байланыстыру күшін жақсарту үшін дайындамада титанның өтпелі қабаты пайда болады.Бұл процесс сонымен қатар дайындаманы қыздыру процесі болып табылады.Таза титан нысанасы разрядталғанда, плазмадағы жарық көгілдір көк болады.

1.Аммонияланған тостағанның қатты қабықшасы

Вакуум дәрежесін 3×10 етіп реттеңіз^-1-5Па, дайындаманың ығысу кернеуін 100-200В дейін реттеңіз және импульстік ығысу қуат көзінің жұмыс циклін 70% ~ 80% реттеңіз.Азот енгізілгеннен кейін титан - бұл титан нитридінің қатты қабығын тұндыру үшін доға разрядының плазмасымен аралас реакция.Бұл кезде вакуумдық камерадағы плазманың жарығы шие қызыл болады.Егер C₂H₂, О₂, т.б. енгізілген, TiCN, TiO₂, т.б. пленка қабаттарын алуға болады.

– Бұл мақаланы Гуандун Чжэнхуа, авакуумды қаптау машинасының өндірушісі