Әртүрлі вакуумдық сорғылардың өнімділігі вакуумды камераға айдау мүмкіндігінен басқа басқа да айырмашылықтарға ие.Сондықтан таңдау кезінде вакуумдық жүйеде сорғының атқаратын жұмысын нақтылау өте маңызды және сорғының әртүрлі жұмыс өрістеріндегі рөлі төмендегідей қорытындыланады.
1、Жүйедегі негізгі сорғы болу
Негізгі сорғы - бұл процесс талаптарын қанағаттандыру үшін қажетті вакуум дәрежесін алу үшін вакуумдық жүйенің айдалатын камерасын тікелей айдайтын вакуумдық сорғы.
2, Дөрекі сорғы сорғы
Дөрекі сорғы сорғы - ауа қысымынан төмендей бастайтын вакуумдық сорғы және вакуумдық жүйенің қысымы жұмыс істей алатын басқа сорғы жүйесіне жетеді.
3、Алдын ала сорғы
Кезең алдындағы сорғы - басқа сорғының саты алдындағы қысымын оның ең жоғары рұқсат етілген кезең алдындағы қысымынан төмен ұстау үшін қолданылатын вакуумдық сорғы.
4、Ұстағыш сорғы
Ұстағыш сорғы – вакуумдық жүйенің сорғылығы өте аз болған кезде негізгі алдын ала сорғыны тиімді пайдалана алмайтын сорғы.Осы себепті вакуумдық жүйеде негізгі сорғының қалыпты жұмысын қамтамасыз ету немесе босатылған ыдысқа қажетті төмен қысымды ұстап тұру үшін сорғы жылдамдығы азырақ қосалқы алдын ала сорғының басқа түрі қолданылады.
5, Дөрекі вакуумдық сорғы немесе төмен вакуумдық сорғы
Дөрекі немесе төмен вакуумды сорғы – ауадан басталып, сорылатын ыдыстың қысымын төмендеткеннен кейін төмен немесе өрескел вакуумдық қысым диапазонында жұмыс істейтін вакуумдық сорғы.
6、Жоғары вакуумдық сорғы
Жоғары вакуумдық сорғы жоғары вакуумдық диапазонда жұмыс істейтін вакуумдық сорғыны білдіреді.
7、Ультра жоғары вакуумдық сорғы
Ультра жоғары вакуумдық сорғы ультра жоғары вакуум диапазонында жұмыс істейтін вакуумдық сорғыны білдіреді.
8, күшейткіш сорғы
Күшейткіш сорғы әдетте орташа қысым диапазонында сорғы жүйесінің сорғы қуатын арттыру немесе бұрынғы сорғының айдау жылдамдығының талабын азайту үшін төмен вакуумды сорғы мен жоғары вакуумдық сорғы арасында жұмыс істейтін вакуумдық сорғыны білдіреді.
Иондық тазартқышқа кіріспе
Плазма тазартқыш
1. Плазма – оң иондар мен электрондардың тығыздығы шамамен тең болатын иондалған газ.Ол иондардан, электрондардан, бос радикалдардан және бейтарап бөлшектерден тұрады.
2. Ол материяның төртінші күйі.Плазма газға қарағанда жоғары энергияның қосындысы болғандықтан, плазма ортасындағы зат физикалық-химиялық және басқа да реакциялық сипаттамаларды ала алады.
3. плазмалық тазалау машинасының механизмі беткі дақтарды кетіру үшін материалдың «плазмалық күйіне» «белсендіру эффектісіне» сүйену болып табылады.
4. Плазмалық тазалау сонымен қатар барлық тазалау әдістерінің ішіндегі ең түбі жоқ тазалау түрі болып табылады.Ол жартылай өткізгіш, микроэлектроника, COG, LCD, LCM және LED процесінде кеңінен қолданылуы мүмкін.
5. Құрылғыны орау алдында дәл тазалау, вакуумдық электроника, қосқыштар мен реле, күн фотоэлектрлік өнеркәсібі, пластмасса, резеңке, металл және керамикалық беттерді тазарту, оюды өңдеу, күлді өңдеу, бетті белсендіру және өмір туралы ғылымның басқа салаларындағы эксперименттер.
Жіберу уақыты: 07 қараша 2022 ж