Вакуумды ионды қаптау (қысқаша айтқанда ионды қаптау) - 1963 жылы Америка Құрама Штаттарындағы Somdia компаниясының ДМ Маттокс ұсынған 1970 жылдары қарқынды дамып келе жатқан бетті өңдеудің жаңа технологиясы. Ол булану көзін немесе шашыратуды пайдалану процесіне қатысты. вакуумдық атмосферада пленка материалын буландыру немесе шашырату.
Біріншісі - газ разрядтық плазма кеңістігінде металл буы мен жоғары энергиялы бейтарап атомдарға жартылай иондалған және электр өрісінің әсерінен пленка түзу үшін субстратқа жететін пленкалық материалды қыздыру және булану арқылы металл буын жасау. ;соңғысы жоғары энергиялы иондарды пайдаланады (мысалы, Ar+) пленкалық материалдың бетін бомбалайды, осылайша шашыраған бөлшектер газ разрядының кеңістігі арқылы иондарға немесе жоғары энергиялы бейтарап атомдарға айналады және субстраттың бетін жүзеге асырады. фильм қалыптастыру.
Бұл мақаланы өндіруші Гуандун Чжэнхуа жарияладывакуумды жабуға арналған жабдық
Хабарлама уақыты: 10 наурыз 2023 ж