Theвакуумдық жабынмашина процесі: вакуумды булану жабыны, вакуумды шашыратқыш жабын және вакуумды ионды жабын болып бөлінеді.
1、Вакуумды булану жабыны
Вакуум жағдайында материалды буландырыңыз, мысалы, металл, металл қорытпасы және т. газ фазасына буланады, содан кейін субстрат бетінде тұндыру, тарихи түрде, вакуумдық бу тұндыру PVD әдісінде қолданылған бұрынғы технология болып табылады.
2, Шашыратушы жабын
Газ (Ar) толтырылған вакуум жағдайында жарқыраған разрядқа ұшырайды. Бұл кезде аргон (Ar) атомдары азот иондарына (Ar) иондары айналады, иондар электр өрісінің күшімен үдетіледі және катодты нысананы бомбалайды. жабын материалынан жасалған, нысана шашыранды болады және субстрат бетіне тұндырылады, әдетте жарқырау разряды арқылы алынған шашыратқыш жабындағы инцидент иондары 10-2pa мен 10Па аралығында болады， Осылайша шашыраған бөлшектер соқтығысуы оңай. субстратқа қарай ұшқан кезде вакуумдық камерадағы газ молекулаларымен қозғалыс бағытын кездейсоқ етеді және тұндырылған пленка біркелкі болуын жеңілдетеді.
3、Иондық жабын
Вакуум жағдайында, Вакуум жағдайында, жабын материалының атомдарын иондарға ішінара ионизациялау үшін белгілі бір плазмалық иондау әдісін қолданды. Сонымен қатар субстратқа теріс бағытталған көптеген жоғары энергиялы бейтарап атомдар өндіріледі. Осылайша, иондар жұқа қабықша түзу үшін субстрат бетіне терең теріс иілу астында орналасады.
Хабарлама уақыты: 23 наурыз 2023 ж