Магнетронды шашыратқыш және катодты көп доғалы ионды жабынның композиттік жабындары бөлек және бір уақытта жұмыс істей алады;таза металл пленка, металл құрама пленка немесе композиттік пленка қоюға және дайындауға болады;бір қабатты пленка және көп қабатты композициялық пленка болуы мүмкін.
Оның артықшылықтары келесідей:
Ол әртүрлі иондық жабындардың артықшылықтарын біріктіріп қана қоймайды және әртүрлі қолдану салаларына арналған жұқа қабықшаны дайындау мен тұндыруды ескереді, сонымен қатар көп қабатты монолитті пленкаларды немесе көп қабатты композициялық пленкаларды бір вакуумда тұндыру мен дайындауға мүмкіндік береді. бір уақытта жабу камерасы.
Шөгілген пленка қабаттарын қолдануда оның технологиялары әр түрлі формада кеңінен қолданылады, типтіктері төмендегідей:
(1) Тепе-тең емес магнетронды шашырату және катодты ионды қаптау технологиясының қосындысы.
Оның құрылғысы төмендегідей көрсетілген.Бұл бағаналы магнетронды мақсатты және жазық катодтық доғалы ионды жабынның құрама жабыны, ол құралды жабу үшін құрама пленканы және сәндік пленканы жабуға жарамды.Аспапты жабу үшін алдымен катодты доғалы ионды жабын негізгі қабат жабыны үшін қолданылады, содан кейін колонналық магнетрон нысанасы жоғары дәлдіктегі өңдеу құралының беткі қабығын алу үшін нитридті және басқа пленка қабаттарын тұндыру үшін қолданылады.
Сәндік жабын үшін TiN және ZrN сәндік пленкаларын алдымен катодтық доғалық жабынмен тұндыруға болады, содан кейін магнетронды нысаналарды қолдана отырып, металмен легирлеуге болады және легирлеу әсері өте жақсы.
(2) Қос жазық магнетронды және катодты бағаналы доғалық ионды жабу әдістерінің қосындысы.Құрылғы төмендегідей көрсетіледі.Ол орта жиілікті қуат көзіне қосылған екі жанама егіз нысананың жетілдірілген егіз нысана технологиясы қолданылады, ол тұрақты токтың шашырауының, өрттің және басқа да кемшіліктердің мақсатты улануын жеңіп қана қоймайды;және Al203, SiO2 оксидінің сапалы пленкасын тұндыра алады, осылайша қапталған бөлшектердің тотығуға төзімділігі артып, жақсарды.Вакуумдық камераның ортасында орнатылған бағаналы көп доғалы нысана, мақсатты материалды Ti және Zr қолдануға болады, бұл жоғары көп доғалы диссоциация жылдамдығының, тұндыру жылдамдығының артықшылықтарын сақтау үшін ғана емес, сонымен қатар «тамшыларды» тиімді түрде азайта алады. шағын жазықтық көп доғалы нысана тұндыру процесі, металл пленкалардың, құрама пленкалардың төмен кеуектілігін сақтауға және дайындауға болады.Егер Al және Si периферияда орнатылған қос жазық магнетронды нысаналар үшін мақсатты материалдар ретінде пайдаланылса, Al203 немесе Si0 металл керамикалық пленкаларды қоюға және дайындауға болады.Сонымен қатар, шеткі жерде көп доғалы булану көзінің бірнеше шағын жазықтықтарын орнатуға болады және оның мақсатты материалы Cr немесе Ni болуы мүмкін, ал металл пленкалар мен көп қабатты композициялық пленкаларды тұндыруға және дайындауға болады.Сондықтан бұл композиттік жабын технологиясы бірнеше қолданбалы композиттік жабын технологиясы болып табылады.
Жіберу уақыты: 08 қараша 2022 ж