Түр | Аты | Принцип | Жұмыс қысымының диапазоны |
Механикалық сорғы | Бір машиналы май тығыздағыш механикалық сорғы | Газды машиналармен сығу және дефляциялау | 105--101 |
Қос машина май тығыздағыш механикалық сорғы | 105--102 | ||
Молекулалық сорғы | 101--108 | ||
Тамыр сорғысы | 103--102 | ||
Бу айдау сорғысы | Май бүрку сорғысы | Бу ағынының импульсімен газды алып кету | 101--107 |
Май диффузиялық сорғы | 101--106 | ||
Сынапты диффузиялық сорғы | 101--105 | ||
Құрғақ сорғы | Шашыратушы иондық сорғы | Сублимация немесе шашырату арқылы түзілген абсорбциялық пленка арқылы газдарды сіңіру және жою | 101--108 |
Титанды сублимациялық сорғы | 101--109 | ||
Адсорбциялық сорғы | Төмен температуралы беттерде физикалық адсорбция арқылы газды кетіру | 106--102 | |
Конденсат сорғы | 102--1011 | ||
Конденсатты адсорбциялық сорғы | 102--1010 |
Жіберу уақыты: 08 қараша 2022 ж