ឧបករណ៍ប្រើប្រាស់រចនាសម្ព័ន្ធទ្វារខាងមុខបញ្ឈរ និងប្លង់ចង្កោម។វាអាចត្រូវបានបំពាក់ដោយប្រភពហួតសម្រាប់លោហធាតុ និងសារធាតុសរីរាង្គផ្សេងៗ ហើយអាចហួត wafers ស៊ីលីកុននៃលក្ខណៈបច្ចេកទេសផ្សេងៗ។បំពាក់ដោយប្រព័ន្ធតម្រឹមភាពជាក់លាក់ ថ្នាំកូតមានស្ថេរភាព ហើយថ្នាំកូតមានដំណើរការល្អឡើងវិញ។
ឧបករណ៍ស្រោប GX600 អាចរំហួតវត្ថុធាតុបញ្ចេញពន្លឺសរីរាង្គ ឬវត្ថុលោហៈបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវ ស្មើភាព និងគ្រប់គ្រងលើស្រទាប់ខាងក្រោម។វាមានគុណសម្បត្តិនៃការបង្កើតខ្សែភាពយន្តសាមញ្ញ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងការបង្រួមខ្ពស់។ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យភាពកំរាស់នៃខ្សែភាពយន្តដោយស្វ័យប្រវត្តិពេញម៉ោងអាចធានាបាននូវដំណើរការឡើងវិញ និងស្ថេរភាពនៃដំណើរការ។វាត្រូវបានបំពាក់ដោយមុខងាររលាយដោយខ្លួនឯងដើម្បីកាត់បន្ថយការពឹងផ្អែកលើជំនាញរបស់ប្រតិបត្តិករ។
ឧបករណ៍នេះអាចត្រូវបានអនុវត្តទៅ Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti និងសម្ភារៈលោហៈផ្សេងទៀត ហើយអាចត្រូវបានស្រោបដោយខ្សែភាពយន្តដែក ខ្សែភាពយន្តស្រទាប់ dielectric ខ្សែភាពយន្ត IMD ជាដើម វាត្រូវបានគេប្រើជាចម្បងនៅក្នុង semiconductor ឧស្សាហកម្ម ដូចជាឧបករណ៍ថាមពល ថ្នាំកូតស្រទាប់ខាងក្រោមវេចខ្ចប់ផ្នែកខាងក្រោយ semiconductor ជាដើម។
GX600 | GX900 |
φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |