លក្ខណៈពិសេសនៃការកែប្រែផ្ទៃប្លាស្មា

ប្លាស្មាថាមពលខ្ពស់អាចបំផ្ទុះ និងបញ្ចេញកាំរស្មីវត្ថុធាតុ polymer បំបែកខ្សែសង្វាក់ម៉ូលេគុល បង្កើតក្រុមសកម្ម បង្កើនថាមពលលើផ្ទៃ និងបង្កើតការឆ្លាក់។ការព្យាបាលលើផ្ទៃប្លាស្មាមិនប៉ះពាល់ដល់រចនាសម្ព័ន្ធខាងក្នុង និងដំណើរការនៃសម្ភារៈភាគច្រើននោះទេ ប៉ុន្តែគ្រាន់តែផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈសម្បត្តិផ្ទៃយ៉ាងសំខាន់ប៉ុណ្ណោះ។

ដើម្បីកុំឱ្យខូចលក្ខណៈនៃសម្ភារៈខ្លួនវា ការព្យាបាលការកែប្រែផ្ទៃប្លាស្មាជាធម្មតាមិនប្រើប្លាស្មាដែលមានដង់ស៊ីតេថាមពលខ្ពស់ជាងនោះទេ។ភាពខុសគ្នារវាងការព្យាបាលនេះ និងការព្យាបាលប្លាស្មាផ្សេងទៀតគឺ៖

1) កុំចាក់អ៊ីយ៉ុង ឬអាតូមចូលទៅក្នុងផ្ទៃដែលត្រូវបានព្យាបាល (ដូចជាការដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុង)។

2) កុំយកវត្ថុធាតុធំ ៗ (ដូចជាការប្រោះឬឆ្លាក់) ។

3) កុំបន្ថែមស្រទាប់តែមួយ (អាតូមិក) នៃវត្ថុធាតុលើសពីពីរបីទៅលើផ្ទៃ (ដូចជាការទម្លាក់)។

សរុបមក ការព្យាបាលលើផ្ទៃប្លាស្មាគឺពាក់ព័ន្ធតែស្រទាប់អាតូមិចខាងក្រៅប៉ុណ្ណោះ។

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការសម្រាប់ការកែប្រែផ្ទៃប្លាស្មាភាគច្រើនរួមមានសម្ពាធឧស្ម័ន ប្រេកង់វាលអគ្គិសនី ថាមពលបញ្ចេញ ពេលវេលាសកម្មភាព។ល។ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការមានភាពងាយស្រួលក្នុងការកែតម្រូវ។កំឡុងពេលដំណើរការកែប្រែប្លាស្មា ភាគល្អិតសកម្មជាច្រើនងាយនឹងមានប្រតិកម្មជាមួយនឹងផ្ទៃដែលបានព្យាបាលដែលពួកគេបានប៉ះ និងអាចប្រើដើម្បីព្យាបាលផ្ទៃសម្ភារៈ។បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងវិធីសាស្រ្តប្រពៃណី ការកែប្រែផ្ទៃប្លាស្មាមានគុណសម្បត្តិនៃដំណើរការសាមញ្ញ ប្រតិបត្តិការសាមញ្ញ តម្លៃទាប គ្មានការបំពុល គ្មានកាកសំណល់ ការផលិតប្រកបដោយសុវត្ថិភាព និងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។