① ការគ្រប់គ្រងបានល្អ និងអាចធ្វើម្តងទៀតនៃកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត
ថាតើកម្រាស់របស់ខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយតម្លៃដែលបានកំណត់ទុកជាមុនឬអត់ ត្រូវបានគេហៅថា ការគ្រប់គ្រងកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត។កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តដែលត្រូវការអាចធ្វើម្តងទៀតបានច្រើនដង ដែលត្រូវបានគេហៅថាភាពធន់នៃខ្សែភាពយន្តឡើងវិញ។ ដោយសារតែចរន្តបញ្ចេញ និងចរន្តគោលដៅនៃថ្នាំកូតបូមធូលីអាចគ្រប់គ្រងដោយឡែកពីគ្នា។ដូច្នេះ កម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តដែលបែកខ្ញែកអាចគ្រប់គ្រងបាន ហើយខ្សែភាពយន្តដែលមានកំរាស់ដែលបានកំណត់ទុកជាមុនអាចទុកដាក់បានដោយភាពជឿជាក់។លើសពីនេះទៀតថ្នាំកូត sputter អាចទទួលបានខ្សែភាពយន្តដែលមានកម្រាស់ឯកសណ្ឋាននៅលើផ្ទៃធំ។
② ការស្អិតជាប់ខ្លាំងរវាងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោម
ថាមពលនៃអាតូមដែលបែកខ្ញែកគឺ 1-2 លំដាប់នៃរ៉ិចទ័រខ្ពស់ជាងអាតូមដែលហួត។ការបំប្លែងថាមពលនៃអាតូម sputtered ថាមពលខ្ពស់ដែលដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមគឺខ្ពស់ជាងអាតូមដែលហួតច្រើន ដែលបង្កើតកំដៅខ្ពស់ និងបង្កើនភាពស្អិតជាប់រវាងអាតូម sputtered និងស្រទាប់ខាងក្រោម។លើសពីនេះ អាតូមដែលបញ្ចេញថាមពលខ្ពស់មួយចំនួនបង្កើតកម្រិតផ្សេងគ្នានៃការចាក់ បង្កើតជាស្រទាប់ pseudoffusion នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។លើសពីនេះ ស្រទាប់ខាងក្រោមតែងតែត្រូវបានសម្អាត និងធ្វើឱ្យសកម្មនៅក្នុងតំបន់ប្លាស្មា កំឡុងពេលដំណើរការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត ដែលលុបបំបាត់អាតូមដែលបែកខ្ញែកជាមួយនឹងភាពស្អិតជាប់ខ្សោយ ហើយបន្សុទ្ធ និងធ្វើឱ្យផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមសកម្ម។ដូច្នេះ ខ្សែភាពយន្តដែលស្រោបដោយភាពស្អិតជាប់នឹងស្រទាប់ខាងក្រោម។
③ ខ្សែភាពយន្តសម្ភារៈថ្មីខុសពីគោលដៅអាចត្រូវបានរៀបចំ
ប្រសិនបើឧស្ម័នប្រតិកម្មត្រូវបានណែនាំកំឡុងពេលបាញ់ទឹក ដើម្បីធ្វើឱ្យវាមានប្រតិកម្មជាមួយគោលដៅ ខ្សែភាពយន្តសម្ភារៈថ្មីដែលខុសពីគោលដៅអាចទទួលបាន។ឧទាហរណ៍ ស៊ីលីកុនត្រូវបានប្រើជាគោលដៅបញ្ចេញទឹក ហើយអុកស៊ីហ្សែន និងអាហ្គុនត្រូវបានដាក់ចូលក្នុងបន្ទប់បូមធូលីរួមគ្នា។បន្ទាប់ពី sputtering ខ្សែភាពយន្តអ៊ីសូឡង់ SiOz អាចទទួលបាន។ដោយប្រើទីតានីញ៉ូមជាគោលដៅបំផ្ទុះ អាសូត និង argon ត្រូវបានដាក់ចូលទៅក្នុងបន្ទប់បូមធូលីជាមួយគ្នា ហើយខ្សែភាពយន្តដែលមានលក្ខណៈដូចមាស TiN ដំណាក់កាលអាចទទួលបានបន្ទាប់ពីការផ្ទុះ។
④ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងគុណភាពល្អនៃខ្សែភាពយន្ត
ដោយសារមិនមានសមាសធាតុ crucible នៅក្នុងឧបករណ៍រៀបចំខ្សែភាពយន្ត sputtering សមាសធាតុនៃសម្ភារៈកំដៅ crucible នឹងមិនត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នានៅក្នុងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត sputtering ។គុណវិបត្តិនៃថ្នាំកូត sputtering គឺថាល្បឿននៃការបង្កើតខ្សែភាពយន្តគឺយឺតជាងថ្នាំកូតហួត, សីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមគឺខ្ពស់, វាងាយនឹងរងផលប៉ះពាល់ដោយឧស្ម័នមិនបរិសុទ្ធ, និងរចនាសម្ព័ន្ធឧបករណ៍គឺស្មុគស្មាញជាង។
អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពដោយ Guangdong Zhenhua ដែលជាក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ស្រោបធូលី
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ 09-09-2023