ដូចដែលយើងទាំងអស់គ្នាដឹងហើយថា និយមន័យនៃ semiconductor គឺថាវាមាន conductivity រវាង conductors ស្ងួត និង insulators, resistivity រវាង metal និង insulator ដែលជាធម្មតានៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់គឺស្ថិតនៅក្នុងចន្លោះ 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm.ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ។ ថ្នាំកូត semiconductor vacuum នៅក្នុងក្រុមហ៊ុន semiconductor ធំៗ វាច្បាស់ណាស់ថា ស្ថានភាពរបស់វាកើនឡើងខ្ពស់ ជាពិសេសនៅក្នុងវិធីសាស្រ្តស្រាវជ្រាវបច្ចេកវិជ្ជានៃការអភិវឌ្ឍន៍សៀគ្វីប្រព័ន្ធរួមបញ្ចូលគ្នាខ្នាតធំមួយចំនួន ទៅជាឧបករណ៍បំប្លែងម៉ាញ៉េតូអគ្គិសនី ឧបករណ៍បញ្ចេញពន្លឺ និងការងារអភិវឌ្ឍន៍ផ្សេងទៀត។Vacuum semiconductor coating មានតួនាទីសំខាន់។
Semiconductors ត្រូវបានកំណត់លក្ខណៈដោយលក្ខណៈខាងក្នុងរបស់វា សីតុណ្ហភាព និងកំហាប់មិនបរិសុទ្ធ។សមា្ភារៈថ្នាំកូត semiconductor Vacuum ត្រូវបានសម្គាល់ពីគ្នាទៅវិញទៅមកជាចម្បងដោយសមាសធាតុផ្សំរបស់វា។ប្រហែលទាំងអស់គឺផ្អែកលើ boron, carbon, silicon, germanium, arsenic, antimony, tellurium, iodine, etc. និងមួយចំនួនតូចដែលទាក់ទងគ្នាដូចជា GaP, GaAs, lnSb ។ល។ វាក៏មាន semiconductors អុកស៊ីដមួយចំនួនដូចជា FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O ជាដើម។
ការរំហួតដោយសុញ្ញកាស ថ្នាំកូត sputtering ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀតអាចធ្វើថ្នាំកូត semiconductor ទំនេរ។ឧបករណ៍ថ្នាំកូតទាំងនេះគឺខុសគ្នាទាំងអស់នៅក្នុងគោលការណ៍ការងាររបស់ពួកគេប៉ុន្តែពួកគេទាំងអស់ធ្វើឱ្យសម្ភារៈថ្នាំកូតសម្ភារៈ semiconductor ដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមហើយជាសម្ភារៈនៃស្រទាប់ខាងក្រោមមិនមានតម្រូវការទេវាអាចជា semiconductor ឬមិនមែន។លើសពីនេះទៀត ថ្នាំកូតដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី និងអុបទិកខុសៗគ្នាអាចត្រូវបានរៀបចំដោយការសាយភាយមិនបរិសុទ្ធ និងការផ្សាំអ៊ីយ៉ុងលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម semiconductor ក្នុងជួរមួយ។ស្រទាប់ស្តើងជាលទ្ធផលក៏អាចត្រូវបានដំណើរការជាថ្នាំកូត semiconductor ជាទូទៅផងដែរ។
Vacuum semiconductor coating គឺជាវត្តមានដែលមិនអាចខ្វះបាននៅក្នុងអេឡិចត្រូនិច មិនថាសម្រាប់ឧបករណ៍សកម្ម ឬអកម្មនោះទេ។ជាមួយនឹងការរីកចម្រើនឥតឈប់ឈរនៃបច្ចេកវិជ្ជាថ្នាំកូត semiconductor ម៉ាស៊ីនបូមធូលី ការគ្រប់គ្រងយ៉ាងច្បាស់លាស់នៃការអនុវត្តខ្សែភាពយន្តបានក្លាយទៅជាអាចធ្វើទៅបាន។
ក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មានឆ្នាំចុងក្រោយនេះ ថ្នាំកូតអាម៉ូហ្វូស និងថ្នាំកូតប៉ូលីគ្រីស្តាល់លីនបានធ្វើឱ្យមានការវិវឌ្ឍន៍យ៉ាងឆាប់រហ័សក្នុងការផលិតឧបករណ៍បញ្ចេញពន្លឺ បំពង់ដែលស្រោបដោយស្រទាប់ការពារ និងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។លើសពីនេះទៀតដោយសារតែការអភិវឌ្ឍនៃថ្នាំកូត semiconductor បូមធូលីនិងខ្សែភាពយន្តស្តើងនៃឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាដែលកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំងផងដែរការលំបាកនៃការជ្រើសរើសសម្ភារៈនិងធ្វើឱ្យដំណើរការផលិតកាន់តែសាមញ្ញបន្តិចម្ដងៗ។ឧបករណ៍ថ្នាំកូត semiconductor Vacuum បានក្លាយជាវត្តមានចាំបាច់សម្រាប់កម្មវិធី semiconductor ។ឧបករណ៍នេះត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយសម្រាប់ថ្នាំកូត semiconductor នៃឧបករណ៍កាមេរ៉ា កោសិកាថាមពលព្រះអាទិត្យ ត្រង់ស៊ីស្ទ័រស្រោប ការបំភាយវាល ពន្លឺ cathode ការបំភាយអេឡិចត្រុង ធាតុស្រូបហ្វីលស្តើង។ល។
ខ្សែស្រោប magnetron sputtering ត្រូវបានរចនាឡើងជាមួយនឹងប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញ ចំណុចប្រទាក់មនុស្ស-ម៉ាស៊ីនអេក្រង់ប៉ះងាយស្រួល និងវិចារណញាណ។បន្ទាត់នេះត្រូវបានរចនាឡើងជាមួយនឹងម៉ឺនុយមុខងារពេញលេញ ដើម្បីសម្រេចបាននូវការត្រួតពិនិត្យពេញលេញនៃស្ថានភាពប្រតិបត្តិការសម្រាប់សមាសធាតុខ្សែផលិតកម្មទាំងមូល ការកំណត់ប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ ការការពារប្រតិបត្តិការ និងមុខងារជូនដំណឹង។ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងអគ្គិសនីទាំងមូលមានសុវត្ថិភាព អាចទុកចិត្តបាន និងមានស្ថេរភាព។បំពាក់ដោយមេដែកពីរជ្រុងខាងលើ និងខាងក្រោម ឬប្រព័ន្ធស្រោបតែមួយចំហៀង។
ឧបករណ៍នេះត្រូវបានអនុវត្តជាចម្បងទៅលើបន្ទះសៀគ្វីសេរ៉ាមិច បន្ទះសៀគ្វី capacitors វ៉ុលខ្ពស់ និងថ្នាំកូតស្រទាប់ខាងក្រោមផ្សេងទៀត តំបន់កម្មវិធីសំខាន់គឺបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី 07-07-2022