បច្ចេកវិទ្យានៃការដាក់ PVD ត្រូវបានអនុវត្តអស់រយៈពេលជាច្រើនឆ្នាំ ជាបច្ចេកវិជ្ជាកែប្រែផ្ទៃថ្មី ជាពិសេសបច្ចេកវិជ្ជាថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងបូមធូលី ដែលបានទទួលការអភិវឌ្ឍន៍យ៉ាងខ្លាំងក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ ហើយឥឡូវនេះត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការព្យាបាលឧបករណ៍ ផ្សិត ចិញ្ចៀន ស្តុង ឧបករណ៍ និងសមាសធាតុផ្សេងៗទៀត។ .ឧបករណ៍ស្រោបដែលរៀបចំដោយបច្ចេកវិជ្ជាថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងបូមធូលីអាចកាត់បន្ថយមេគុណកកិតយ៉ាងសំខាន់ ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវការប្រឆាំងនឹងការពាក់ និងការប្រឆាំងនឹងការច្រេះ ហើយបានក្លាយជាចំណុចផ្តោត និងជាចំណុចក្តៅនៃការស្រាវជ្រាវនៅក្នុងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាពង្រឹងផ្ទៃប្រអប់លេខ។
សមា្ភារៈទូទៅដែលប្រើសម្រាប់ប្រអប់លេខ ភាគច្រើនជាដែកក្លែងក្លាយ ដែកវណ្ណះ ដែកវណ្ណះ លោហៈមិនមែនដែក (ស្ពាន់ អាលុយមីញ៉ូម) និងផ្លាស្ទិច។ដែកថែបភាគច្រើនជាដែកថែប 45, 35SiMn, 40Cr, 40CrNi, 40MnB, 38CrMoAl ។ដែកថែបកាបូនទាបត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាចម្បងនៅក្នុង 20Cr, 20CrMnTi, 20MnB, 20CrMnTo ។ដែកថែបក្លែងក្លាយត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងប្រអប់ហ្គែរ ដោយសារដំណើរការល្អប្រសើររបស់វា ខណៈពេលដែលដែកវណ្ណះត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាធម្មតាដើម្បីផលិតឧបករណ៍ដែលមានអង្កត់ផ្ចិត> 400mm និងរចនាសម្ព័ន្ធស្មុគស្មាញ។ឧបករណ៍ដែកដេញប្រឆាំងនឹងកាវនិងធន់ទ្រាំនឹងការប៉ះទង្គិចប៉ុន្តែការខ្វះខាតនៃផលប៉ះពាល់និងធន់ទ្រាំនឹងការពាក់, ជាចម្បងសម្រាប់ការងារមានស្ថេរភាព, ថាមពលមិនមានល្បឿនទាបឬទំហំធំនិងរូបរាងស្មុគ្រស្មាញ, អាចធ្វើការក្រោមលក្ខខណ្ឌនៃការខ្វះជាតិរំអិល, សមរម្យសម្រាប់ការបើកចំហ។ ការឆ្លង។លោហធាតុដែលមិនមានជាតិដែកដែលប្រើជាទូទៅគឺ សំណប៉ាហាំង សំរិទ្ធ អាលុយមីញ៉ូម-ដែក សំរិទ្ធ និងលោហៈធាតុអាលុយមីញ៉ូម ដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅក្នុងការផលិតទួរប៊ីន ឬប្រអប់លេខ ប៉ុន្តែលក្ខណៈសម្បត្តិរអិល និងប្រឆាំងនឹងការកកិតគឺអន់ មានតែសម្រាប់ទម្ងន់ស្រាល ផ្ទុកមធ្យម និងល្បឿនទាបប៉ុណ្ណោះ។ ឧបករណ៍។ឧបករណ៍ប្រើប្រាស់សម្ភារៈមិនមែនលោហធាតុត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាចម្បងនៅក្នុងវិស័យមួយចំនួនដែលមានតម្រូវការពិសេសដូចជា ប្រេងរំអិលគ្មានជាតិប្រេង និងភាពជឿជាក់ខ្ពស់។វាលនៃលក្ខខណ្ឌដូចជាការបំពុលទាប ដូចជាឧបករណ៍ប្រើប្រាស់ក្នុងផ្ទះ ឧបករណ៍វេជ្ជសាស្ត្រ ម៉ាស៊ីនម្ហូបអាហារ និងម៉ាស៊ីនវាយនភណ្ឌ។
សមា្ភារៈស្រោបប្រអប់លេខ
សមា្ភារៈសេរ៉ាមិចវិស្វកម្មគឺជាវត្ថុធាតុដើមដែលមានភាពរឹងមាំ និងរឹងខ្ពស់ ជាពិសេសធន់នឹងកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ចរន្តកំដៅទាប និងការពង្រីកកម្ដៅ ធន់នឹងការពាក់ខ្ពស់ និងធន់នឹងអុកស៊ីតកម្ម។ការសិក្សាមួយចំនួនធំបានបង្ហាញថា វត្ថុធាតុសេរ៉ាមិចមានភាពធន់នឹងកំដៅ និងមានការពាក់ទាបលើលោហធាតុ។ដូច្នេះ ការប្រើប្រាស់សម្ភារៈសេរ៉ាមិចជំនួសឱ្យសម្ភារៈលោហៈសម្រាប់ផ្នែកដែលធន់នឹងការពាក់អាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអាយុជីវិតនៃស្រទាប់កកិត អាចបំពេញតាមតម្រូវការមួយចំនួននៃសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងធន់នឹងការពាក់ខ្ពស់ ពហុមុខងារ និងតម្រូវការដ៏លំបាកផ្សេងទៀត។នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ សម្ភារៈសេរ៉ាមិចវិស្វកម្មត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងការផលិតផ្នែកធន់នឹងកំដៅម៉ាស៊ីន ការបញ្ជូនមេកានិចនៅក្នុងផ្នែកពាក់ ឧបករណ៍គីមីនៅក្នុងផ្នែកដែលធន់នឹងការ corrosion និងផ្នែកផ្សាភ្ជាប់ កាន់តែបង្ហាញពីការអនុវត្តយ៉ាងទូលំទូលាយនៃការរំពឹងទុកនៃសម្ភារៈសេរ៉ាមិច។
ប្រទេសអភិវឌ្ឍន៍ដូចជា អាឡឺម៉ង់ ជប៉ុន សហរដ្ឋអាមេរិក ចក្រភពអង់គ្លេស និងប្រទេសដទៃទៀតបានយកចិត្តទុកដាក់យ៉ាងខ្លាំងចំពោះការអភិវឌ្ឍន៍ និងការអនុវត្តសម្ភារៈសេរ៉ាមិចវិស្វកម្ម ដោយវិនិយោគថវិកា និងកម្លាំងពលកម្មជាច្រើនដើម្បីអភិវឌ្ឍទ្រឹស្តីកែច្នៃ និងបច្ចេកវិទ្យានៃសេរ៉ាមិចវិស្វកម្ម។ប្រទេសអាឡឺម៉ង់បានចាប់ផ្តើមកម្មវិធីមួយដែលមានឈ្មោះថា "SFB442" គោលបំណងគឺប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យា PVD ដើម្បីសំយោគខ្សែភាពយន្តសមរម្យមួយនៅលើផ្ទៃនៃផ្នែកដើម្បីជំនួសឧបករណ៍ផ្ទុកប្រេងរំអិលដែលអាចបង្កគ្រោះថ្នាក់ដល់បរិស្ថាន និងរាងកាយមនុស្ស។PW Gold និងអ្នកផ្សេងទៀតនៅក្នុងប្រទេសអាឡឺម៉ង់បានប្រើប្រាស់មូលនិធិពី SFB442 ដើម្បីអនុវត្តបច្ចេកវិទ្យា PVD ដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងៗលើផ្ទៃនៃសត្វខ្លាឃ្មុំរំកិល ហើយបានរកឃើញថាការប្រឆាំងនឹងការពាក់របស់សត្វខ្លាឃ្មុំរំកិលត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំង ហើយខ្សែភាពយន្តដែលដាក់លើផ្ទៃអាចជំនួសបានទាំងស្រុង។ មុខងារនៃសារធាតុបន្ថែមប្រឆាំងនឹងសម្ពាធខ្លាំង។Joachim, Franz et al ។នៅប្រទេសអាឡឺម៉ង់បានប្រើបច្ចេកវិទ្យា PVD ដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្ត WC/C ដែលបង្ហាញពីលក្ខណៈសម្បត្តិប្រឆាំងនឹងការអស់កម្លាំងដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ខ្ពស់ជាងប្រេងរំអិលដែលមានសារធាតុបន្ថែម EP ដែលជាលទ្ធផលដែលផ្តល់លទ្ធភាពដូចគ្នាក្នុងការជំនួសសារធាតុបន្ថែមដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់ជាមួយនឹងថ្នាំកូត។E. Lugscheider et al ។នៃវិទ្យាស្ថានវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈ សាកលវិទ្យាល័យបច្ចេកទេស Aachen ប្រទេសអាឡឺម៉ង់ ដោយមានមូលនិធិពី DFG (គណៈកម្មការស្រាវជ្រាវអាល្លឺម៉ង់) បានបង្ហាញពីការកើនឡើងគួរឱ្យកត់សម្គាល់នៃភាពធន់ទ្រាំនឹងការអស់កម្លាំង បន្ទាប់ពីការដាក់ខ្សែភាពយន្តសមស្របនៅលើដែកថែប 100Cr6 ដោយប្រើបច្ចេកវិទ្យា PVD ។លើសពីនេះ ក្រុមហ៊ុន General Motors របស់សហរដ្ឋអាមេរិកបានចាប់ផ្តើមនៅក្នុងខ្សែភាពយន្តការពារផ្ទៃប្រអប់លេខរថយន្តប្រភេទ VolvoS80Turbo ដើម្បីបង្កើនភាពធន់នឹងការអស់កម្លាំង។ក្រុមហ៊ុន Timken ដ៏ល្បីល្បាញ បានដាក់ឈ្មោះថា ES200 gear surface film;ម៉ាកយីហោដែលបានចុះបញ្ជី MAXIT gear coating បានបង្ហាញខ្លួននៅក្នុងប្រទេសអាល្លឺម៉ង់។យីហោដែលបានចុះបញ្ជី Graphit-iC និង Dymon-iC រៀងគ្នា ថ្នាំកូត Gear ជាមួយនឹងពាណិជ្ជសញ្ញាដែលបានចុះបញ្ជី Graphit-iC និង Dymon-iC ក៏មាននៅក្នុងចក្រភពអង់គ្លេសផងដែរ។
ក្នុងនាមជាគ្រឿងបន្លាស់ដ៏សំខាន់នៃការបញ្ជូនមេកានិក ប្រអប់លេខដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងឧស្សាហកម្ម ដូច្នេះវាមានសារៈសំខាន់ជាក់ស្តែងណាស់ក្នុងការសិក្សាអំពីការប្រើប្រាស់សម្ភារៈសេរ៉ាមិចនៅលើប្រអប់លេខ។នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ សេរ៉ាមិចវិស្វកម្មដែលបានអនុវត្តចំពោះប្រអប់ហ្គែរគឺភាគច្រើនដូចខាងក្រោម។
1. ស្រទាប់ថ្នាំកូត TiN
១.ធីអិន
ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង TiN ស្រទាប់សេរ៉ាមិចគឺជាថ្នាំកូតដែលបានកែប្រែលើផ្ទៃដែលគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយបំផុតជាមួយនឹងភាពរឹងខ្ពស់ កម្លាំងស្អិតខ្ពស់ មេគុណកកិតទាប ធន់នឹងច្រេះល្អ ។ល។ វាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងវិស័យផ្សេងៗ ជាពិសេសនៅក្នុងឧស្សាហកម្មឧបករណ៍ និងផ្សិត។មូលហេតុចម្បងដែលប៉ះពាល់ដល់ការអនុវត្តថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចនៅលើឧបករណ៍គឺបញ្ហានៃការភ្ជាប់រវាងថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចនិងស្រទាប់ខាងក្រោម។ដោយសារលក្ខខណ្ឌការងារ និងកត្តាឥទ្ធិពលនៃប្រអប់លេខមានភាពស្មុគស្មាញជាងឧបករណ៍ និងផ្សិត ការអនុវត្តនៃថ្នាំកូត TiN តែមួយលើផ្ទៃប្រអប់លេខត្រូវបានរឹតបន្តឹងយ៉ាងខ្លាំង។ទោះបីជាថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចមានគុណសម្បត្តិនៃភាពរឹងខ្ពស់ មេគុណកកិតទាប និងធន់នឹងច្រេះ ប៉ុន្តែវាមានភាពផុយ និងពិបាកក្នុងការទទួលបានថ្នាំកូតដែលក្រាស់ជាងមុន ដូច្នេះវាត្រូវការស្រទាប់រឹងខ្ពស់ និងកម្លាំងខ្ពស់ដើម្បីទ្រទ្រង់ថ្នាំកូតដើម្បីលេងលក្ខណៈរបស់វា។ដូច្នេះថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចត្រូវបានប្រើភាគច្រើនសម្រាប់ផ្ទៃដែកដែលមានជាតិកាបូននិងល្បឿនលឿន។សម្ភារៈប្រអប់លេខគឺទន់បើប្រៀបធៀបទៅនឹងសម្ភារៈសេរ៉ាមិច ហើយភាពខុសគ្នារវាងធម្មជាតិនៃស្រទាប់ខាងក្រោម និងថ្នាំកូតគឺមានទំហំធំ ដូច្នេះការរួមផ្សំនៃថ្នាំកូត និងស្រទាប់ខាងក្រោមគឺអន់ ហើយថ្នាំកូតមិនគ្រប់គ្រាន់សម្រាប់ទ្រទ្រង់ថ្នាំកូតទេ ធ្វើឱ្យ ថ្នាំកូតដែលងាយនឹងធ្លាក់ក្នុងដំណើរការប្រើប្រាស់ មិនត្រឹមតែមិនអាចលេងគុណសម្បត្តិនៃថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែភាគល្អិតនៃថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចដែលជ្រុះនឹងបណ្តាលឱ្យមានសំណឹកនៅលើប្រអប់លេខ បង្កើនល្បឿននៃការបាត់បង់ឧបករណ៍។ដំណោះស្រាយបច្ចុប្បន្នគឺត្រូវប្រើបច្ចេកវិជ្ជាព្យាបាលផ្ទៃផ្សំដើម្បីកែលម្អចំណងរវាងសេរ៉ាមិច និងស្រទាប់ខាងក្រោម។បច្ចេកវិជ្ជាព្យាបាលលើផ្ទៃផ្សំសំដៅលើការរួមផ្សំនៃថ្នាំកូតដែលជ្រាបចូលចំហាយទឹក និងដំណើរការព្យាបាលលើផ្ទៃផ្សេងទៀត ឬថ្នាំកូត ដោយប្រើផ្ទៃ/ផ្ទៃរងពីរដាច់ដោយឡែក ដើម្បីកែប្រែផ្ទៃនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម ដើម្បីទទួលបានលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចសមាសធាតុដែលមិនអាចសម្រេចបានដោយដំណើរការព្យាបាលផ្ទៃតែមួយ។ .ថ្នាំកូតសមាសធាតុ TiN ដែលដាក់ដោយ ion nitriding និង PVD គឺជាថ្នាំកូតសមាសធាតុមួយដែលត្រូវបានស្រាវជ្រាវច្រើនបំផុត។ស្រទាប់ខាងក្រោមប្លាស្មា nitriding និងថ្នាំកូតសេរ៉ាមិច TiN មានចំណងដ៏រឹងមាំ ហើយភាពធន់នឹងការពាក់ត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំង។
កម្រាស់ដ៏ល្អប្រសើរនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត TiN ដែលមានភាពធន់ទ្រាំនឹងការពាក់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងការភ្ជាប់មូលដ្ឋានខ្សែភាពយន្តគឺប្រហែល 3 ~ 4μm។ប្រសិនបើកម្រាស់នៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តមានតិចជាង 2μm នោះភាពធន់ទ្រាំពាក់នឹងមិនត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងគួរឱ្យកត់សម្គាល់នោះទេ។ប្រសិនបើកម្រាស់នៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តលើសពី 5μm ការភ្ជាប់មូលដ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្តនឹងថយចុះ។
2. ថ្នាំកូត TiN ច្រើនស្រទាប់
ជាមួយនឹងការអនុវត្តបន្តិចម្តងៗ និងរីករាលដាលនៃថ្នាំកូត TiN មានការស្រាវជ្រាវកាន់តែច្រើនឡើងអំពីរបៀបកែលម្អ និងពង្រឹងថ្នាំកូត TiN ។ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ ថ្នាំកូតពហុសមាសធាតុ និងថ្នាំកូតពហុស្រទាប់ត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយផ្អែកលើថ្នាំកូត TiN គោលពីរដូចជា Ti-CN, Ti-CNB, Ti-Al-N, Ti-BN, (Tix, Cr1-x)N, TiN /Al2O3 ជាដើម។ ដោយការបន្ថែមធាតុដូចជា Al និង Si ទៅថ្នាំកូត TiN ភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងភាពរឹងនៃថ្នាំកូតអាចត្រូវបានកែលម្អ ខណៈពេលដែលការបន្ថែមធាតុដូចជា B អាចធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវភាពរឹង និងកម្លាំងស្អិតរបស់ថ្នាំកូត។
ដោយសារតែភាពស្មុគស្មាញនៃសមាសភាពពហុផ្នែក មានភាពចម្រូងចម្រាសជាច្រើននៅក្នុងការសិក្សានេះ។នៅក្នុងការសិក្សានៃ (Tix, Cr1-x)N multicomponent coatings មានភាពចម្រូងចម្រាសដ៏ធំមួយនៅក្នុងលទ្ធផលស្រាវជ្រាវ។មនុស្សមួយចំនួនជឿថា (Tix, Cr1-x)N ថ្នាំកូតគឺផ្អែកលើ TiN ហើយ Cr អាចមាននៅក្នុងទម្រង់នៃដំណោះស្រាយរឹងជំនួសនៅក្នុងម៉ាទ្រីសចំណុច TiN ប៉ុន្តែមិនមែនជាដំណាក់កាល CrN ដាច់ដោយឡែកនោះទេ។ការសិក្សាផ្សេងទៀតបង្ហាញថាចំនួនអាតូម Cr ដែលជំនួសអាតូម Ti ដោយផ្ទាល់នៅក្នុងថ្នាំកូត (Tix, Cr1-x)N ត្រូវបានកំណត់ ហើយ Cr ដែលនៅសល់មាននៅក្នុងស្ថានភាព singlet ឬបង្កើតជាសមាសធាតុជាមួយ N ។ លទ្ធផលពិសោធន៍បង្ហាញថាការបន្ថែម Cr ចំពោះថ្នាំកូតកាត់បន្ថយទំហំភាគល្អិតលើផ្ទៃ និងបង្កើនភាពរឹង ហើយភាពរឹងនៃថ្នាំកូតឈានដល់តម្លៃខ្ពស់បំផុតរបស់វានៅពេលដែលភាគរយម៉ាសរបស់ Cr ឈានដល់ 3l% ប៉ុន្តែភាពតានតឹងខាងក្នុងនៃថ្នាំកូតក៏ឈានដល់តម្លៃអតិបរមារបស់វាផងដែរ។
3. ស្រទាប់ថ្នាំកូតផ្សេងទៀត។
បន្ថែមពីលើថ្នាំកូត TiN ដែលប្រើជាទូទៅ សេរ៉ាមិចវិស្វកម្មផ្សេងៗគ្នាជាច្រើនត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការពង្រឹងផ្ទៃប្រអប់លេខ។
(1) យ.Terauchi et al ។ប្រទេសជប៉ុនបានសិក្សាពីភាពធន់នឹងការកកិតនៃប្រអប់លេខ titanium carbide ឬ titanium nitride ceramic gears ដែលដាក់ដោយវិធីសាស្ត្របំភាយចំហាយ។ប្រអប់លេខត្រូវបាន carburized និង polished ដើម្បីសម្រេចបាននូវភាពរឹងនៃផ្ទៃប្រហែល HV720 និងភាពរដុបនៃផ្ទៃ 2.4 μm មុនពេលថ្នាំកូត ហើយថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចត្រូវបានរៀបចំដោយការទម្លាក់ចំហាយគីមី (CVD) សម្រាប់ titanium carbide និងដោយការបំភាយចំហាយរាងកាយ (PVD) សម្រាប់ ទីតានីញ៉ូមនីត្រាតដែលមានកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តសេរ៉ាមិចប្រហែល 2 μm។លក្ខណៈសម្បត្តិនៃការពាក់កកិតត្រូវបានស៊ើបអង្កេតនៅក្នុងវត្តមាននៃការកកិតស្ងួតរៀងៗខ្លួន។វាត្រូវបានគេរកឃើញថា ភាពធន់នឹងការគោះ និងធន់នឹងការកោសរបស់ឧបករណ៍ជំនួយត្រូវបានពង្រឹងយ៉ាងខ្លាំងបន្ទាប់ពីស្រោបដោយសេរ៉ាមិច។
(2) ថ្នាំកូតគីមីនៃ Ni-P និង TiN ដែលស្រោបដោយគីមីត្រូវបានរៀបចំដោយការស្រោបមុន Ni-P ជាស្រទាប់ផ្លាស់ប្តូរ ហើយបន្ទាប់មកដាក់ TiN ។ការសិក្សាបង្ហាញថា ភាពរឹងនៃផ្ទៃនៃថ្នាំកូតសមាសធាតុនេះត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងក្នុងកម្រិតជាក់លាក់មួយ ហើយថ្នាំកូតត្រូវបានផ្សារភ្ជាប់ល្អប្រសើរជាងមុនជាមួយនឹងស្រទាប់ខាងក្រោម និងមានភាពធន់ទ្រាំនឹងការពាក់កាន់តែប្រសើរ។
(3) WC/C, B4C ខ្សែភាពយន្តស្តើង
M. Murakawa et al. នាយកដ្ឋានវិស្វកម្មមេកានិក វិទ្យាស្ថានបច្ចេកវិទ្យាជប៉ុន បានប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យា PVD ដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង WC/C ទៅលើផ្ទៃប្រអប់លេខ ហើយអាយុកាលសេវាកម្មរបស់វាគឺបីដងនៃប្រអប់លេខធម្មតា និងដីក្រោមប្រេង។ លក្ខខណ្ឌនៃការបញ្ចេញទឹករំអិលដោយឥតគិតថ្លៃ។Franz J et al ។បានប្រើបច្ចេកវិទ្យា PVD ដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង WC/C និង B4C ទៅលើផ្ទៃនៃប្រអប់លេខ FEZ-A និង FEZ-C ហើយការពិសោធន៍បានបង្ហាញថា ថ្នាំកូត PVD បានកាត់បន្ថយការកកិតប្រអប់លេខយ៉ាងសំខាន់ ធ្វើឱ្យប្រអប់លេខមិនងាយនឹងស្អិតជាប់ ឬស្អិតជាប់។ និងធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវសមត្ថភាពផ្ទុករបស់ឧបករណ៍។
(4) ខ្សែភាពយន្ត CrN
ខ្សែភាពយន្ត CrN គឺស្រដៀងទៅនឹងខ្សែភាពយន្ត TiN ដែលពួកគេមានភាពរឹងខ្ពស់ជាង ហើយខ្សែភាពយន្ត CrN មានភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាង TiN មានភាពធន់ទ្រាំនឹងការច្រេះល្អ ភាពតានតឹងខាងក្នុងទាបជាងខ្សែភាពយន្ត TiN និងភាពតឹងតែងប្រសើរជាង។Chen Ling et បានរៀបចំខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុ TiAlCrN/CrN ដែលធន់នឹងការពាក់ជាមួយនឹងការភ្ជាប់ខ្សែភាពយន្តដ៏ល្អឥតខ្ចោះលើផ្ទៃ HSS ហើយក៏បានស្នើទ្រឹស្តីនៃការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់ខ្សែភាពយន្តពហុស្រទាប់ ប្រសិនបើភាពខុសគ្នានៃថាមពលរវាងស្រទាប់ទាំងពីរមានទំហំធំ ការផ្លាស់ទីលំនៅកើតឡើង។ នៅក្នុងស្រទាប់មួយនឹងពិបាកក្នុងការឆ្លងកាត់ចំណុចប្រទាក់របស់វាទៅក្នុងស្រទាប់ផ្សេងទៀត ដូច្នេះបង្កើតការផ្លាស់ទីលំនៅជង់នៅចំណុចប្រទាក់ និងដើរតួក្នុងការពង្រឹងសម្ភារៈ។Zhong Bin et បានសិក្សាពីឥទ្ធិពលនៃមាតិកាអាសូតលើរចនាសម្ព័ន្ធដំណាក់កាល និងលក្ខណៈនៃការពាក់កកិតនៃខ្សែភាពយន្ត CrNx ហើយការសិក្សាបានបង្ហាញថា កំពូលនៃការបំភាយ Cr2N (211) នៅក្នុងខ្សែភាពយន្តបានចុះខ្សោយបន្តិចម្តងៗ ហើយកំពូល CrN (220) ត្រូវបានពង្រឹងជាបណ្តើរៗជាមួយនឹងការកើនឡើង។ នៃមាតិកា N2 ភាគល្អិតធំ ៗ លើផ្ទៃខ្សែភាពយន្តបានថយចុះបន្តិចម្តង ៗ ហើយផ្ទៃមានទំនោរទៅជាសំប៉ែត។នៅពេលដែល N2 aeration គឺ 25 ml/min (ចរន្តធ្នូប្រភពគោលដៅគឺ 75 A ខ្សែភាពយន្ត CrN ដែលត្រូវបានតំកល់ទុកមានគុណភាពផ្ទៃល្អ ភាពរឹងល្អ និងធន់នឹងការពាក់ដ៏ល្អនៅពេលដែល N2 aeration គឺ 25ml/min (ចរន្តធ្នូប្រភពគោលដៅគឺ 75A, អវិជ្ជមាន សម្ពាធគឺ 100V) ។
(5) ខ្សែភាពយន្ត Superhard
ខ្សែភាពយន្ត Superhard គឺជាខ្សែភាពយន្តរឹងដែលមានភាពរឹងធំជាង 40GPa ធន់នឹងការពាក់ល្អ ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងមេគុណការកកិតទាប និងមេគុណការពង្រីកកំដៅទាប ភាគច្រើនជាខ្សែភាពយន្តពេជ្រអាម៉ូញ៉ូស និងខ្សែភាពយន្ត CN ។ខ្សែភាពយន្តពេជ្រ Amorphous មានលក្ខណៈសម្បត្តិ amorphous មិនមានរចនាសម្ព័នលំដាប់ជួរវែង និងមានចំណង CC tetrahedral មួយចំនួនធំ ដូច្នេះពួកវាត្រូវបានគេហៅថា tetrahedral amorphous carbon films ផងដែរ។ជាប្រភេទខ្សែភាពយន្តកាបូនអាម៉ូញ៉ូម ថ្នាំកូតដូចពេជ្រ (DLC) មានលក្ខណៈសម្បត្តិល្អប្រសើជាច្រើនស្រដៀងនឹងពេជ្រ ដូចជាចរន្តកំដៅខ្ពស់ ភាពរឹងខ្ពស់ ម៉ូឌុលបត់បែនខ្ពស់ មេគុណទាបនៃការពង្រីកកម្ដៅ ស្ថេរភាពគីមីល្អ ធន់នឹងការពាក់ល្អ និង មេគុណកកិតទាប។វាត្រូវបានបង្ហាញថាការស្រោបខ្សែភាពយន្តដូចពេជ្រលើផ្ទៃប្រអប់លេខអាចពន្យារអាយុសេវាកម្មដោយកត្តា 6 និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពធន់នឹងការអស់កម្លាំងយ៉ាងខ្លាំង។ខ្សែភាពយន្ត CN ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាខ្សែភាពយន្តអាម៉ូហ្វកាបូន-អាសូត មានរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ស្រដៀងទៅនឹងសមាសធាតុ covalent β-Si3N4 ហើយត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា β-C3N4 ។Liu និង Cohen et al ។បានអនុវត្តការគណនាទ្រឹស្តីយ៉ាងម៉ត់ចត់ដោយប្រើការគណនាក្រុមតន្រ្តី pseudopotential ពីគោលការណ៍ធម្មជាតិទីមួយ បានបញ្ជាក់ថា β-C3N4 មានថាមពលចងធំ រចនាសម្ព័ន្ធមេកានិកមានស្ថេរភាព យ៉ាងហោចណាស់មានស្ថានភាពរងមួយអាចមាន ហើយម៉ូឌុលបត់បែនរបស់វាអាចប្រៀបធៀបទៅនឹងពេជ្រ។ ជាមួយនឹងលក្ខណៈសម្បត្តិល្អ ដែលអាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពរឹងនៃផ្ទៃ និងធន់នឹងការពាក់របស់សម្ភារៈយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព និងកាត់បន្ថយមេគុណកកិត។
(6) ស្រទាប់ថ្នាំកូតដែលធន់នឹងការពាក់ alloy ផ្សេងទៀត។
ថ្នាំកូតដែលធន់នឹងការពាក់របស់យ៉ាន់ស្ព័រមួយចំនួនក៏ត្រូវបានគេព្យាយាមអនុវត្តទៅលើឧបករណ៍ផងដែរ ឧទាហរណ៍ ការដាក់ស្រទាប់យ៉ាន់ស្ព័រ Ni-P-Co នៅលើផ្ទៃធ្មេញរបស់ឧបករណ៍ដែក 45# គឺជាស្រទាប់យ៉ាន់ស្ព័រដើម្បីទទួលបាននូវរចនាសម្ព័ន្ធគ្រាប់ធញ្ញជាតិដែលល្អមែនទែន។ ដែលអាចពន្យារអាយុជីវិតរហូតដល់ 1.144 ~ 1.533 ដង។វាត្រូវបានគេសិក្សាផងដែរថាស្រទាប់ដែក Cu និងថ្នាំកូតយ៉ាន់ស្ព័រ Ni-W ត្រូវបានអនុវត្តលើផ្ទៃធ្មេញរបស់ឧបករណ៍ដែកលោហធាតុ Cu-Cr-P ដើម្បីបង្កើនកម្លាំងរបស់វា។ថ្នាំកូតអាលុយមីញ៉ូម Ni-W និង Ni-Co ត្រូវបានអនុវត្តលើផ្ទៃធ្មេញរបស់ឧបករណ៍ដែកវណ្ណះ HT250 ដើម្បីបង្កើនភាពធន់នឹងការពាក់ 4~6 ដងបើធៀបនឹងឧបករណ៍ដែលមិនស្រោប។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី 07-07-2022