ធ្នូលួសក្តៅ បង្កើនបច្ចេកវិជ្ជាបន្សាបចំហាយគីមីប្លាស្មា

បច្ចេកវិជ្ជាបំភាយចំហាយគីមីនៃប្លាស្មាបានប្រសើរឡើង ប្រើកាំភ្លើងធ្នូលួសក្តៅ ដើម្បីបញ្ចេញប្លាស្មាអាក ដែលអក្សរកាត់ថាជាបច្ចេកវិទ្យា hot wire arc PECVD ។បច្ចេកវិទ្យានេះគឺស្រដៀងគ្នាទៅនឹងបច្ចេកវិទ្យា hot wire arc gun ion coating technology ប៉ុន្តែភាពខុសគ្នានោះគឺថាខ្សែភាពយន្តរឹងដែលទទួលបានដោយថ្នាំកូត ion arc gun លួសក្តៅ ប្រើប្រាស់លំហូរអេឡិចត្រុងពន្លឺធ្នូដែលបញ្ចេញដោយកាំភ្លើង arc លួសក្តៅ ដើម្បីកំដៅ និងហួតលោហៈនៅក្នុង ឈើឆ្កាង ខណៈពេលដែលភ្លើងខ្សែភ្លើងក្តៅ PECVD ត្រូវបានបញ្ចូលជាមួយឧស្ម័នប្រតិកម្ម ដូចជា CH4 និង H2 ដែលត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការដាក់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រ។ដោយពឹងផ្អែកលើចរន្តបញ្ចេញធ្នូដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់ដែលបញ្ចេញដោយកាំភ្លើងធ្នូលួសក្តៅ អ៊ីយ៉ុងឧស្ម័នប្រតិកម្មមានការរំភើបចិត្តក្នុងការទទួលបានភាគល្អិតសកម្មជាច្រើន រួមទាំងអ៊ីយ៉ុងឧស្ម័ន អាតូមអ៊ីយ៉ុង ក្រុមសកម្ម និងដូច្នេះនៅលើ។

នៅក្នុងឧបករណ៍ PECVD arc លួសក្តៅ ឧបករណ៏អេឡិចត្រូម៉ាញេទិកពីរនៅតែត្រូវបានតំឡើងនៅខាងក្រៅបន្ទប់ស្រោប ដែលបណ្តាលឱ្យលំហូរអេឡិចត្រុងដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់បង្វិលកំឡុងពេលចលនាឆ្ពោះទៅកាន់ anode បង្កើនប្រូបាប៊ីលីតេនៃការប៉ះទង្គិច និងអ៊ីយ៉ូដរវាងលំហូរអេឡិចត្រុង និងឧស្ម័នប្រតិកម្ម។ .ឧបករណ៏អេឡិចត្រូម៉ាញេទិកក៏អាចបំប្លែងទៅជាជួរឈរធ្នូដើម្បីបង្កើនដង់ស៊ីតេប្លាស្មានៃអង្គធាតុរាវទាំងមូល។នៅក្នុង arc plasma ដង់ស៊ីតេនៃភាគល្អិតសកម្មទាំងនេះគឺខ្ពស់ ដែលធ្វើឱ្យវាកាន់តែងាយស្រួលក្នុងការដាក់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រ និងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តផ្សេងទៀតនៅលើ workpiece ។

—— អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុន Guangdong Zhenhua Technology, aក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនស្រោបអុបទិក.