1. បច្ចេកវិទ្យា CVD កំដៅ
ថ្នាំកូតរឹងគឺភាគច្រើនជាថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចដែក (TiN ។ដំបូងឡើយ បច្ចេកវិទ្យា CVD កំដៅត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្តល់ថាមពលសកម្មនៃប្រតិកម្មរួមបញ្ចូលគ្នាដោយថាមពលកំដៅនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នៃ 1000 ℃។សីតុណ្ហភាពនេះគឺសមរម្យសម្រាប់តែការដាក់ TiN និងថ្នាំកូតរឹងផ្សេងទៀតនៅលើឧបករណ៍ស៊ីម៉ងត៍ carbide ។រហូតមកដល់ពេលនេះ វានៅតែជាបច្ចេកវិជ្ជាសំខាន់មួយក្នុងការដាក់ថ្នាំកូត TiN-Al20 លើក្បាលឧបករណ៍ស៊ីម៉ងត៍។
2. ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង cathode ប្រហោង និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងខ្សែភ្លើងក្តៅ
នៅទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1980 ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង cathode ប្រហោង និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងខ្សែភ្លើងក្តៅ ត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់ឧបករណ៍កាត់ដែលស្រោបដោយស្រទាប់។បច្ចេកវិជ្ជាថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងទាំងពីរនេះគឺជាបច្ចេកវិជ្ជានៃការស្រោបអ៊ីយ៉ុងអាក់ឌ័រ ជាមួយនឹងអត្រាអ៊ីយ៉ុងដែករហូតដល់ 20% ~ 40% ។
3. ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូ cathode
ការលេចឡើងនៃថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង cathodic arc បាននាំឱ្យមានការអភិវឌ្ឍនៃបច្ចេកវិទ្យានៃការដាក់ស្រទាប់រឹងនៅលើផ្សិត។អត្រាអ៊ីយ៉ូដនៃថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង cathodic arc គឺ 60% ~ 90% ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានអ៊ីយ៉ុងដែក និងអ៊ីយ៉ុងឧស្ម័នប្រតិកម្មមួយចំនួនធំទៅដល់ផ្ទៃនៃការងារ ហើយនៅតែរក្សាបាននូវសកម្មភាពខ្ពស់ ដែលបណ្តាលឱ្យមានប្រតិកម្ម និងការបង្កើតថ្នាំកូតរឹងដូចជា ធីអិន។នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត អ៊ីយ៉ុង cathodic arc ត្រូវបានប្រើជាចម្បង ដើម្បីដាក់ស្រទាប់រឹងនៅលើផ្សិត។
ប្រភពធ្នូ cathode គឺជាប្រភពរំហួតនៃសភាពរឹង ដោយគ្មានអាងរលាយថេរ ហើយទីតាំងប្រភពធ្នូអាចត្រូវបានដាក់តាមអំពើចិត្ត ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអត្រាប្រើប្រាស់ចន្លោះនៃបន្ទប់ស្រោប និងបង្កើនសមត្ថភាពផ្ទុកឡ។រូបរាងនៃប្រភពធ្នូ cathode រួមមានប្រភពធ្នូ cathode រាងជារង្វង់តូច ប្រភពធ្នូ columnar និងប្រភពធ្នូរាងចតុកោណកែងធំ។សមាសធាតុផ្សេងគ្នានៃប្រភពធ្នូតូច ប្រភពធ្នូជួរឈរ និងប្រភពធ្នូធំអាចត្រូវបានរៀបចំដោយឡែកពីគ្នាដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តពហុស្រទាប់ និងខ្សែភាពយន្តពហុស្រទាប់ណាណូ។ទន្ទឹមនឹងនេះដែរ ដោយសារអត្រាអ៊ីយ៉ូដដែកខ្ពស់នៃថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង cathodic arc ion ដែកអាចស្រូបយកឧស្ម័នប្រតិកម្មកាន់តែច្រើន ដែលបណ្តាលឱ្យមានដំណើរការធំទូលាយ និងប្រតិបត្តិការសាមញ្ញដើម្បីទទួលបានថ្នាំកូតរឹងដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយមានដំណក់ទឹកតូចៗនៅក្នុង microstructure នៃស្រទាប់ថ្នាំកូតដែលទទួលបានដោយថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង cathodic arc ។ក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មានឆ្នាំចុងក្រោយនេះ បច្ចេកវិទ្យាថ្មីៗជាច្រើនបានលេចចេញមកដើម្បីកែលម្អរចនាសម្ព័ន្ធនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តថ្នាំកូត arc ion ។
—— អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុន Guangdong Zhenhua Technology, aក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនស្រោបអុបទិក.
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី 28-04-2023