ដំណើរការ polymerization ដោយផ្ទាល់ប្លាស្មា

ដំណើរការ polymerization ដោយផ្ទាល់ប្លាស្មា

ដំណើរការនៃវត្ថុធាតុ polymerization ប្លាស្មាគឺសាមញ្ញសម្រាប់ទាំងឧបករណ៍វត្ថុធាតុ polymerization អេឡិចត្រូតខាងក្នុង និងឧបករណ៍វត្ថុធាតុ polymerization អេឡិចត្រូតខាងក្រៅ ប៉ុន្តែការជ្រើសរើសប៉ារ៉ាម៉ែត្រគឺមានសារៈសំខាន់ជាងនៅក្នុងវត្ថុធាតុ polymerization ប្លាស្មា ពីព្រោះប៉ារ៉ាម៉ែត្រមានឥទ្ធិពលកាន់តែខ្លាំងលើរចនាសម្ព័ន្ធ និងដំណើរការនៃខ្សែភាពយន្តវត្ថុធាតុ polymer កំឡុងពេលវត្ថុធាតុ polymerization ប្លាស្មា។

ជំហានប្រតិបត្តិការសម្រាប់វត្ថុធាតុ polymerization ប្លាស្មាដោយផ្ទាល់មានដូចខាងក្រោម៖

(1) ការបូមធូលី

ការខ្វះចន្លោះនៃវត្ថុធាតុ polymerization នៅក្រោមលក្ខខណ្ឌខ្វះចន្លោះគួរតែត្រូវបានបូមទៅ 1.3 × 10-1Pa ។សម្រាប់ប្រតិកម្មវត្ថុធាតុ polymerization ដែលត្រូវការតម្រូវការពិសេសសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងមាតិកាអុកស៊ីសែន ឬអាសូត តម្រូវការខ្វះចន្លោះផ្ទៃខាងក្រោយគឺខ្ពស់ជាង។

(2) ម៉ូណូម័រប្រតិកម្មបន្ទុក ឬឧស្ម័នចម្រុះនៃឧស្ម័នដឹកជញ្ជូន និងម៉ូណូមឺរ

កម្រិតទំនេរគឺ 13-130Pa ។សម្រាប់វត្ថុធាតុ polymerization ប្លាស្មាដែលត្រូវការការងារ របៀបគ្រប់គ្រងលំហូរសមស្រប និងអត្រាលំហូរត្រូវបានជ្រើសរើស ជាទូទៅ 10.100mL/min ។នៅក្នុងប្លាស្មា ម៉ូលេគុល monomer ត្រូវបាន ionized និង dissociated ដោយការទម្លាក់គ្រាប់បែកនៃភាគល្អិតថាមពល ដែលបណ្តាលឱ្យមានភាគល្អិតសកម្មដូចជា ions និងហ្សែនសកម្ម។ភាគល្អិតសកម្មដែលត្រូវបានធ្វើឱ្យសកម្មដោយប្លាស្មាអាចឆ្លងកាត់វត្ថុធាតុ polymerization ប្លាស្មានៅចំណុចប្រទាក់នៃដំណាក់កាលឧស្ម័ន និងដំណាក់កាលរឹង។ម៉ូណូមឺរគឺជាប្រភពនៃមុនគេសម្រាប់វត្ថុធាតុ polymerization ប្លាស្មា ហើយឧស្ម័នប្រតិកម្មបញ្ចូល និងម៉ូណូមឺត្រូវមានភាពបរិសុទ្ធជាក់លាក់។

(3) ការជ្រើសរើសការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលរំភើប

ប្លាស្មាអាចត្រូវបានបង្កើតដោយប្រើ DC ប្រេកង់ខ្ពស់ RF ឬប្រភពថាមពលមីក្រូវ៉េវ ដើម្បីផ្តល់បរិយាកាសប្លាស្មាសម្រាប់វត្ថុធាតុ polymerization ។ការជ្រើសរើសការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលត្រូវបានកំណត់ដោយផ្អែកលើតម្រូវការសម្រាប់រចនាសម្ព័ន្ធនិងដំណើរការនៃវត្ថុធាតុ polymer ។

(4) ការជ្រើសរើសរបៀបបញ្ចេញ

សម្រាប់តម្រូវការវត្ថុធាតុ polymer វត្ថុធាតុ polymerization ប្លាស្មាអាចជ្រើសរើសរបៀបបញ្ចេញទឹកពីរ៖ ការហូរចេញបន្ត ឬការបញ្ចេញជីពចរ។

(5) ការជ្រើសរើសប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃការហូរចេញ

នៅពេលធ្វើវត្ថុធាតុ polymerization ប្លាស្មា ប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃការហូរចេញចាំបាច់ត្រូវពិចារណាពីប៉ារ៉ាម៉ែត្រប្លាស្មា លក្ខណៈសម្បត្តិវត្ថុធាតុ polymer និងតម្រូវការរចនាសម្ព័ន្ធ។ទំហំនៃថាមពលដែលបានអនុវត្តកំឡុងពេលវត្ថុធាតុ polymerization ត្រូវបានកំណត់ដោយបរិមាណនៃអង្គជំនុំជម្រះខ្វះចន្លោះ ទំហំអេឡិចត្រូត អត្រាលំហូរ monomer និងរចនាសម្ព័ន្ធ អត្រាវត្ថុធាតុ polymerization និងរចនាសម្ព័ន្ធ និងការអនុវត្តវត្ថុធាតុ polymer ។ឧទាហរណ៍ប្រសិនបើបរិមាណអង្គជំនុំជម្រះប្រតិកម្មគឺ 1L ហើយ RF Plasma polymerization ត្រូវបានអនុម័ត ថាមពលបញ្ចេញនឹងស្ថិតនៅក្នុងចន្លោះ 10 ~ 30W ។នៅក្រោមលក្ខខណ្ឌបែបនេះប្លាស្មាដែលបានបង្កើតអាចប្រមូលផ្តុំដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងនៅលើផ្ទៃនៃ workpiece ។អត្រាកំណើននៃខ្សែភាពយន្តវត្ថុធាតុ polymerization ប្លាស្មាប្រែប្រួលទៅតាមការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល ប្រភេទ monomer និងអត្រាលំហូរ និងលក្ខខណ្ឌដំណើរការ។ជាទូទៅ អត្រាកំណើនគឺ 100nm/min ~ 1um/min។

(6) ការវាស់វែងប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៅក្នុងវត្ថុធាតុ polymerization ប្លាស្មា

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រប្លាស្មា និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការដែលត្រូវវាស់នៅក្នុងវត្ថុធាតុ polymerization ប្លាស្មារួមមានៈ វ៉ុលបញ្ចេញ ចរន្តបញ្ចេញ ប្រេកង់បញ្ចេញ សីតុណ្ហភាពអេឡិចត្រុង ដង់ស៊ីតេ ប្រភេទក្រុមប្រតិកម្ម និងការប្រមូលផ្តុំ។ល។

—— អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុន Guangdong Zhenhua Technology, aក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនស្រោបអុបទិក.