លំហូរដំណើរការនៃម៉ាស៊ីនស្រោបជ័រ

1. ស្រទាប់ខាងក្រោមសម្អាតគ្រាប់បែក

1.1) ម៉ាស៊ីនស្រោបស្រោបដោយប្រើការបញ្ចេញពន្លឺដើម្បីសម្អាតស្រទាប់ខាងក្រោម។មានន័យថា បញ្ចូលឧស្ម័ន argon ទៅក្នុងអង្គជំនុំជម្រះ វ៉ុលបញ្ចេញគឺប្រហែល 1000V បន្ទាប់ពីបើកការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល ការឆក់ពន្លឺត្រូវបានបង្កើត ហើយស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានសម្អាតដោយការទម្លាក់គ្រាប់បែក argon ion ។

1.2) នៅក្នុងម៉ាស៊ីនស្រោបស្រោបដែលផលិតគ្រឿងតុបតែងលម្អលំដាប់ខ្ពស់ក្នុងឧស្សាហកម្ម អ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូមដែលបញ្ចេញដោយប្រភពធ្នូតូចៗភាគច្រើនត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការសម្អាត។ម៉ាស៊ីនថ្នាំកូត sputtering ត្រូវបានបំពាក់ដោយប្រភពធ្នូតូចមួយ ហើយស្ទ្រីមអ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូមនៅក្នុងប្លាស្មាធ្នូដែលបង្កើតឡើងដោយការបញ្ចេញប្រភពធ្នូតូចត្រូវបានប្រើដើម្បីទម្លាក់គ្រាប់បែក និងសម្អាតស្រទាប់ខាងក្រោម។

2. ថ្នាំកូតទីតានីញ៉ូមនីត្រាត

នៅពេលដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង ទីតានីញ៉ូម នីទ្រីត សម្ភារៈគោលដៅសម្រាប់ការបាញ់ទឹកគឺជាគោលដៅទីតានីញ៉ូម។សម្ភារៈគោលដៅត្រូវបានភ្ជាប់ទៅនឹងអេឡិចត្រូតអវិជ្ជមាននៃការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល sputtering ហើយវ៉ុលគោលដៅគឺ 400 ~ 500V;លំហូរ argon ត្រូវបានជួសជុល ហើយម៉ាស៊ីនបូមធូលីគ្រប់គ្រងគឺ (3 ~ 8) x10^-1ប៉ាស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានភ្ជាប់ទៅនឹងអេឡិចត្រូតអវិជ្ជមាននៃការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលលំអៀងដែលមានវ៉ុល 100 ~ 200V ។

បន្ទាប់ពីបើកការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលនៃគោលដៅទីតានីញ៉ូម ការបញ្ចេញពន្លឺមួយត្រូវបានបង្កើតឡើង ហើយអ៊ីយ៉ុង argon ថាមពលខ្ពស់បានទម្លាក់គ្រាប់បែកទៅលើគោលដៅដែលបំផ្ទុះ បំបែកអាតូមទីតាញ៉ូមចេញពីគោលដៅ។

អាសូតឧស្ម័នប្រតិកម្មត្រូវបានណែនាំ ហើយអាតូមទីតាញ៉ូម និងអាសូតត្រូវបានអ៊ីយ៉ូដទៅជាអ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូម និងអ៊ីយ៉ុងអាសូតនៅក្នុងបន្ទប់ថ្នាំកូត។នៅក្រោមការទាក់ទាញនៃវាលអគ្គិសនីលំអៀងអវិជ្ជមានដែលបានអនុវត្តទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម អ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូម និងអ៊ីយ៉ុងអាសូតបង្កើនល្បឿនទៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមសម្រាប់ប្រតិកម្មគីមី និងការធ្លាក់ចូលទៅក្នុងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តទីតានីញ៉ូមនីត្រាត។

3. យកស្រទាប់ខាងក្រោមចេញ

បន្ទាប់ពីឈានដល់កម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តដែលបានកំណត់ទុកជាមុន សូមបិទការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល sputtering ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលលំអៀងនៃស្រទាប់ខាងក្រោម និងប្រភពខ្យល់។បនា្ទាប់ពីសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមទាបជាង 120 ℃ បំពេញបន្ទប់ស្រោបដោយខ្យល់ ហើយយកស្រទាប់ខាងក្រោមចេញ។

អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូត magnetron sputtering— នៅ Guangdong Zhenhua។