ដំណើរការនៃថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង cathode ប្រហោងមានដូចខាងក្រោម៖
1. ដាក់ Chin ingots នៅក្នុងការដួលរលំ។
2. ការដំឡើងឧបករណ៍។
3. បន្ទាប់ពីការជម្លៀសទៅ 5 × 10-3Pa ឧស្ម័ន argon ត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងបន្ទប់ស្រោបពីបំពង់ប្រាក់ ហើយកម្រិតខ្វះចន្លោះគឺប្រហែល 100Pa ។
4. បើកថាមពលលំអៀង។
5, បន្ទាប់ពីបើកថាមពលធ្នូដើម្បីបញ្ឆេះការហូរចេញ cathode ប្រហោង។ ការបញ្ចេញពន្លឺត្រូវបានបង្កើតនៅក្នុងបំពង់ប៊ូតុងវ៉ុលបញ្ចេញគឺ 800 ~ 1000V, ចរន្តបង្កើនធ្នូគឺ 30 ~ 50A. ដោយសារតែឥទ្ធិពល cathode ប្រហោងនៃពន្លឺ។ ការបញ្ចេញទឹករំអិល ដង់ស៊ីតេចរន្តបញ្ចេញពន្លឺខ្ពស់ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់នៃអ៊ីយ៉ុងកណ្តុរនៅក្នុងបំពង់ប្រាក់ បំផ្ទុះជញ្ជាំងបំពង់ខ្យល់ ធ្វើឱ្យជញ្ជាំងបំពង់ក្តៅឡើងយ៉ាងលឿនរហូតដល់ការបញ្ចេញលំហូរអេឡិចត្រុង របៀបបញ្ចេញទឹករំអិលពីការបញ្ចេញពន្លឺផ្លាស់ប្តូរភ្លាមៗទៅ ការហូរចេញនៃធ្នូ, វ៉ុលគឺ 40 ~ 70V, ចរន្តគឺ 80 ~ 300A. សីតុណ្ហភាពបំពង់ប្រាក់ឡើងដល់លើសពី 2300K, ភ្លើងឆេះ, បញ្ចេញចរន្តដង់ស៊ីតេខ្ពស់នៃអេឡិចត្រុងធ្នូពីបំពង់ ហើយបាញ់ទៅអាណូត។
6, ការលៃតម្រូវកម្រិតបូមធូលី។ កម្រិតសុញ្ញកាសសម្រាប់ការបញ្ចេញពន្លឺពីកាំភ្លើង cathode ប្រហោងគឺប្រហែល 100 Pa ហើយកម្រិតខ្វះចន្លោះនៃថ្នាំកូតគឺ 8 × 10-1 ~ 2Pa ។ ដូច្នេះហើយបន្ទាប់ពីការបញ្ឆេះនៃការហូរចេញនៃធ្នូ កាត់បន្ថយ argon ចូល។ ឧស្ម័នឱ្យបានឆាប់តាមដែលអាចធ្វើទៅបាន លៃតម្រូវកម្រិតបូមធូលីទៅជួរដែលសមរម្យសម្រាប់ថ្នាំកូត។
7, ស្រទាប់មូលដ្ឋានដែលធ្វើពីទីតានីញ៉ូម។ លំហូរអេឡិចត្រុងទៅលើលោហៈធាតុ Chin ដែលដួលរលំដោយ anodically ការបំប្លែងថាមពល kinetic ទៅជាថាមពលកំដៅ ការហួតនៃលោហៈ Chin ដោយកំដៅ ចំហាយអាតូមឈានដល់ workpiece ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តទីតានីញ៉ូម។
8, ការដាក់ឧស្ម័ន TiN.Nitrogen ត្រូវបានផ្គត់ផ្គង់ទៅបន្ទប់ស្រោប ឧស្ម័នអាសូត និងអាតូមហួតត្រូវបាន ionized ទៅជា អាសូត និង titanium ions។ នៅពីលើ Crucible ប្រូបាប៊ីលីតេកាន់តែខ្ពស់នៃការប៉ះទង្គិចគ្នានៃអាតូមចំហាយទីតាញ៉ូម ជាមួយនឹងស្ទ្រីមក្រាស់នៃអេឡិចត្រុងថាមពលទាប។ អត្រានៃការបំបែកលោហៈគឺខ្ពស់រហូតដល់ 20% ~ 40%, អ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូមទំនងជាមានប្រតិកម្មគីមីជាមួយអាសូតឧស្ម័នប្រតិកម្ម ការទម្លាក់ដើម្បីទទួលបានស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត nitride mantle ។កាំភ្លើង cathode ប្រហោងគឺជាប្រភពចំហាយទឹក ប្រភពមួយផ្សេងទៀត នៃ ionization.ក្នុងអំឡុងពេលនៃការស្រោប, ចរន្តនៃឧបករណ៏អេឡិចត្រូម៉ាញេទិកនៅជុំវិញ crucible នេះគួរតែត្រូវបានលៃតម្រូវផងដែរ, ផ្តោតលើធ្នឹមអេឡិចត្រុងទៅកណ្តាលនៃការដួលរលំ, ដូច្នេះដង់ស៊ីតេថាមពលនៃលំហូរអេឡិចត្រុងត្រូវបានកើនឡើង។
9, បិទថាមពល។ បន្ទាប់ពីកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តឈានដល់កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តដែលបានកំណត់ទុកជាមុន បិទការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលធ្នូ ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលលំអៀង និងការផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ កក្កដា-០៨-២០២៣