នេះ។ឧបករណ៍ស្រោបធូលីត្រូវបានផ្សំឡើងដោយផ្នែកច្បាស់លាស់ជាច្រើន ដែលត្រូវបានធ្វើឡើងតាមរយៈដំណើរការជាច្រើនដូចជា ការផ្សារ ការកិន ការបង្វិល ការរៀបផែនការ ការធុញ ការកិនជាដើម។ដោយសារតែការងារទាំងនេះ ផ្ទៃនៃគ្រឿងបរិក្ខារនឹងជៀសមិនរួចនឹងមានការបំពុលដោយសារធាតុពុលមួយចំនួនដូចជាខាញ់ ភាពកខ្វក់នៃប្រេង បន្ទះសៀគ្វីដែក លំហូរនៃការផ្សារ ការបិទភ្ជាប់ប៉ូលា ស្នាមញើសជាដើម។សារធាតុពុលទាំងនេះងាយនឹងបំប្លែងនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌខ្វះចន្លោះ ដូច្នេះប៉ះពាល់ដល់ភាពទំនេរចុងក្រោយនៃឧបករណ៍។
លើសពីនេះ សារធាតុពុលទាំងនេះពីដំណើរការមេកានិកស្រូបឧស្ម័នមួយចំនួនធំនៅក្នុងបរិយាកាសសម្ពាធបរិយាកាស ហើយនៅក្នុងស្ថានភាពខ្វះចន្លោះ ឧស្ម័នដែលស្រូបយកពីមុនទាំងនេះក៏នឹងត្រូវបានបញ្ចេញម្តងទៀត ដែលក្លាយជាកត្តាសំខាន់ដែលកំណត់ការខ្វះចន្លោះ។សម្រាប់ហេតុផលនេះ សារធាតុបំពុលត្រូវតែត្រូវបានយកចេញ មុនពេលផ្នែកនៃម៉ាស៊ីនបូមធូលីត្រូវបានផ្គុំ។
កំឡុងពេលប្រើប្រាស់ឧបករណ៍បូមធូលី សមាសធាតុរបស់វាក៏នឹងមានភាពកខ្វក់ផងដែរ។ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ការបំពុលពីប្រភពនេះ ភាគច្រើនបណ្តាលមកពីលក្ខខណ្ឌប្រើប្រាស់ និងម៉ាស៊ីនបូមធូលី។
1. ការហួតនៃ filament នៃរង្វាស់ខ្វះចន្លោះនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នឹងនាំឱ្យមានការបង្កើតខ្សែភាពយន្តនៅលើអ៊ីសូឡង់សេរ៉ាមិចដែលនឹងធ្វើឱ្យខូចកម្លាំងអ៊ីសូឡង់របស់ខ្លួនក្នុងកម្រិតជាក់លាក់មួយហើយក៏មានផលប៉ះពាល់ជាក់លាក់ទៅលើភាពត្រឹមត្រូវរបស់វាផងដែរ។ ការវាស់វែង;
2. ដោយសារតែការហួតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ខ្សែភាពយន្តដែកមួយនឹងត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើផ្ទៃនៅជិត filament នៃកាំភ្លើងអេឡិចត្រុងនៅក្នុងកន្លែងទំនេរ;
3. ដោយសារតែការ sputtering workpiece, ជញ្ជាំងខាងក្នុងនៃឧបករណ៍ etching ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងនឹងត្រូវបានកខ្វក់ដោយការ splashes;
4. ជញ្ជាំងខាងក្នុងនៃឧបករណ៍ថ្នាំកូតរំហួតខ្វះចន្លោះនឹងត្រូវបានបំពុលដោយសម្ភារៈគោលដៅហួតរបស់វា;
5. ប្រព័ន្ធសម្ងួតសុញ្ញកាសត្រូវបានប្រើជាញឹកញាប់ ហើយប្រព័ន្ធនេះនឹងត្រូវបានបំពុលដោយសារធាតុហួត។
6. ប្រេងបូមដែលសាយភាយ និងប្រេងបូមមេកានិកនៅក្នុងបរិក្ខារបូមធូលីក៏ជាប្រភពសំខាន់នៃការបំពុលផងដែរ។បន្ទាប់ពីម៉ាស៊ីនស្រោបបានដំណើរការអស់រយៈពេលយូរ ខ្សែភាពយន្តប្រេងអាចបង្កើតនៅខាងក្នុងឧបករណ៍។
សរុបមក អនាម័យខ្វះចន្លោះនៃបរិក្ខារពាក់ព័ន្ធនឹងបរិក្ខារបូមធូលី ប្រព័ន្ធបូមធូលី ការផលិតដំណើរការបូមធូលី និងទិដ្ឋភាពផ្សេងទៀត និងតំណភ្ជាប់ ក៏ដូចជាតម្រូវការនៃឧបករណ៍ស្រោបសុញ្ញកាសដោយខ្លួនឯង និងដំណើរការបូមធូលីពិសេសលើលក្ខខណ្ឌប្រើប្រាស់។ដូច្នេះ ការបំពុលដោយម៉ាស៊ីនបូមធូលី គឺជាបញ្ហាដែលសក្តិសមគួរយកចិត្តទុកដាក់ ពីព្រោះការបំពុលទាំងនេះនឹងប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការរបស់ឧបករណ៍ ហើយត្រូវយកចិត្តទុកដាក់ចំពោះការសម្អាតជាប្រចាំ ឬនៅពេលណាក៏បាន។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ២១ ខែកុម្ភៈ ឆ្នាំ ២០២៣