ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងម៉ាស៊ីន មានប្រភពចេញពីទ្រឹស្តីដែលស្នើឡើងដោយ DM Mattox ក្នុងទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1960 ហើយការពិសោធន៍ដែលត្រូវគ្នាបានចាប់ផ្តើមនៅពេលនោះ។រហូតមកដល់ឆ្នាំ 1971 Chambers និងអ្នកផ្សេងទៀតបានបោះពុម្ពផ្សាយបច្ចេកវិទ្យានៃការដាក់អ៊ីយ៉ុងធ្នឹមអេឡិចត្រុង;បច្ចេកវិជ្ជានៃការរំហួតដោយប្រតិកម្ម (ARE) ត្រូវបានចង្អុលបង្ហាញនៅក្នុងរបាយការណ៍ Bunshah ក្នុងឆ្នាំ 1972 នៅពេលដែលប្រភេទខ្សែភាពយន្តរឹងខ្លាំងដូចជា TiC និង TiN ត្រូវបានផលិត។នៅឆ្នាំ 1972 ផងដែរ Smith និង Molley បានទទួលយកបច្ចេកវិទ្យា cathode ប្រហោងក្នុងដំណើរការថ្នាំកូត។នៅទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1980 ការដាក់បន្ទះអ៊ីយ៉ុងនៅក្នុងប្រទេសចិនទីបំផុតបានឈានដល់កម្រិតនៃការអនុវត្តឧស្សាហកម្ម ហើយដំណើរការនៃថ្នាំកូតដូចជាការបិតអ៊ីយ៉ុងពហុធ្នូ និងបន្ទះអ៊ីយ៉ុងអាក់ស៊ីសបានលេចចេញជាបន្តបន្ទាប់។
ដំណើរការទាំងមូលនៃការបិតអ៊ីយ៉ុងបូមធូលីមានដូចខាងក្រោម៖ ទីមួយ។បូមបន្ទប់បូមធូលី ហើយបន្ទាប់មករង់ចាំសម្ពាធបូមធូលីដល់ 4X10 ⁻ ³ Paឬប្រសើរជាង, វាចាំបាច់ក្នុងការភ្ជាប់ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលវ៉ុលខ្ពស់និងបង្កើតតំបន់ប្លាស្មាសីតុណ្ហភាពទាបនៃឧស្ម័នបញ្ចេញវ៉ុលទាបរវាងស្រទាប់ខាងក្រោមនិងឧបករណ៍រំហួត។ភ្ជាប់អេឡិចត្រូតស្រទាប់ខាងក្រោមជាមួយនឹងវ៉ុលខ្ពស់អវិជ្ជមាន 5000V DC ដើម្បីបង្កើតការបញ្ចេញពន្លឺនៃ cathode ។អ៊ីយ៉ុងឧស្ម័នអសកម្មត្រូវបានបង្កើតនៅជិតតំបន់បញ្ចេញពន្លឺអវិជ្ជមាន។ពួកវាចូលទៅក្នុងតំបន់ងងឹត cathode ហើយត្រូវបានពន្លឿនដោយវាលអគ្គីសនីហើយទម្លាក់គ្រាប់បែកលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។នេះគឺជាដំណើរការសម្អាតហើយបន្ទាប់មកចូលទៅក្នុងដំណើរការថ្នាំកូត។តាមរយៈឥទ្ធិពលនៃការបំផ្ទុះកំដៅ សមា្ភារៈចានខ្លះត្រូវបានចំហាយចេញ។តំបន់ប្លាស្មាចូលទៅក្នុងប្រូតុង ប៉ះទង្គិចជាមួយអេឡិចត្រុង និងអ៊ីយ៉ុងឧស្ម័នអសកម្ម ហើយផ្នែកតូចមួយនៃពួកវាត្រូវបានអ៊ីយ៉ូដ អ៊ីយ៉ុងអ៊ីយ៉ូដទាំងនេះដែលមានថាមពលខ្ពស់នឹងទម្លាក់គ្រាប់បែកលើផ្ទៃខ្សែភាពយន្ត និងធ្វើឱ្យគុណភាពខ្សែភាពយន្តកាន់តែប្រសើរឡើងក្នុងកម្រិតមួយចំនួន។
គោលការណ៍នៃការដាក់អ៊ីយ៉ុងខ្វះចន្លោះគឺ៖ នៅក្នុងបន្ទប់ខ្វះចន្លោះ ដោយប្រើបាតុភូតបញ្ចេញឧស្ម័ន ឬផ្នែកអ៊ីយ៉ូដនៃវត្ថុធាតុចំហាយ ក្រោមការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុង ឬអ៊ីយ៉ុងហ្គាស ក្នុងពេលដំណាលគ្នាដាក់សារធាតុចំហាយទាំងនេះ ឬសារធាតុប្រតិកម្មរបស់វានៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ ដើម្បីទទួលបានខ្សែភាពយន្តស្តើង។ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងម៉ាស៊ីនរួមបញ្ចូលគ្នានូវការហួតដោយខ្វះចន្លោះ បច្ចេកវិជ្ជាប្លាស្មា និងការបញ្ចេញពន្លឺនៃឧស្ម័ន ដែលមិនត្រឹមតែធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវគុណភាពខ្សែភាពយន្តប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងពង្រីកជួរកម្មវិធីនៃខ្សែភាពយន្តផងដែរ។គុណសម្បត្តិនៃដំណើរការនេះគឺការសាយភាយខ្លាំង ភាពស្អិតជាប់ក្នុងខ្សែភាពយន្តល្អ និងសម្ភារៈថ្នាំកូតផ្សេងៗ។គោលការណ៍នៃការដាក់អ៊ីយ៉ុងត្រូវបានស្នើឡើងដំបូងដោយ DM Mattox ។មានបន្ទះអ៊ីយ៉ុងជាច្រើនប្រភេទ។ប្រភេទទូទៅបំផុតគឺកំដៅហួត រួមទាំងកំដៅធន់ទ្រាំ កំដៅធ្នឹមអេឡិចត្រុង កំដៅធ្នឹមអេឡិចត្រុងប្លាស្មា កំដៅអាំងឌុចទ័ប្រេកង់ខ្ពស់ និងវិធីសាស្រ្តកំដៅផ្សេងទៀត។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ១៤-កុម្ភៈ-២០២៣