RCX1100

ឧបករណ៍ស្រោបដោយខ្យល់ Magnetron គឺត្រូវប្រើវិធីសាស្ត្រ magnetron sputtering ដើម្បីផ្លាស់ប្តូរសម្ភារៈថ្នាំកូតទៅជាឧស្ម័ន ឬអ៊ីយ៉ុងក្នុងបរិយាកាសខ្វះចន្លោះ ហើយបន្ទាប់មកដាក់វានៅលើដុំការងារដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តក្រាស់។ដើម្បីកែលម្អស្ថានភាពផ្ទៃ ឬទទួលបានការសម្តែងពិសេសជាក់លាក់នៃខ្សែភាពយន្តមុខងារ ឬការតុបតែង។
គ្រឿងបរិក្ខារប្រើប្រាស់ប្រព័ន្ធ magnetron sputtering system និងប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យខ្យល់ច្បាស់លាស់ ហើយត្រូវបានបំពាក់ដោយប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងម៉ូទ័រ servo ដើម្បីដឹងពីភាពតានតឹងថេរ និងការគ្រប់គ្រងល្បឿនថេរ។

1. បំពាក់ដោយប្រព័ន្ធរុញខ្សែភាពយន្តដោយស្វ័យប្រវត្តិ ខ្សែភាពយន្តនេះមិនមានស្នាមជ្រីវជ្រួញ ហើយគុណភាពខ្យល់គឺខ្ពស់។
2. ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងរង្វិលជុំបិទត្រូវបានបន្ថែមដើម្បីបង្កើនអត្រានៃការដាក់ប្រាក់។ខ្សែភាពយន្ត multilayer dielectric អាចត្រូវបានស្រោបជាបន្តបន្ទាប់នៅលើឧបករណ៏ PET ដែលមានទទឹង 1100mm ជាមួយនឹងដំណើរការល្អ និងដំណើរការមានស្ថេរភាព។
3. ប្រព័ន្ធខ្យល់និងគោលដៅអាចត្រូវបានទាញចេញពីចុងទាំងពីររៀងគ្នាដើម្បីជួយសម្រួលដល់ការផ្ទុកនិង unloading នៃរមៀលភ្នាសនិងការជំនួសនៃគោលដៅថែទាំ។

គ្រឿងបរិក្ខារមានកម្រិតស្វ័យប្រវត្តិកម្មខ្ពស់ ត្រួតពិនិត្យស្ថានភាពការងាររបស់ឧបករណ៍ដោយស្វ័យប្រវត្តិ និងមានមុខងារនៃការជូនដំណឹងអំពីកំហុស និងការការពារដោយស្វ័យប្រវត្តិ។ប្រតិបត្តិការឧបករណ៍មានការលំបាកតិច។
ឧបករណ៍នេះអាចដាក់ Nb2O5, TiO2, SiO2 និងអុកស៊ីដផ្សេងទៀត Cu, Al, Cr, Ti និងលោហធាតុសាមញ្ញផ្សេងទៀត ដែលភាគច្រើនត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការដាក់ខ្សែភាពយន្តពណ៌អុបទិកពហុស្រទាប់ និងខ្សែភាពយន្តដែកសាមញ្ញ។ឧបករណ៍នេះគឺសមរម្យសម្រាប់ខ្សែភាពយន្ត PET ក្រណាត់ conductive និងសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តដែលអាចបត់បែនបានផ្សេងទៀតហើយត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងខ្សែភាពយន្តតុបតែងទូរស័ព្ទដៃខ្សែភាពយន្តវេចខ្ចប់ខ្សែភាពយន្តការពារអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច EMI ខ្សែភាពយន្តតម្លាភាព ITO និងផលិតផលផ្សេងទៀត។