ស៊េរីនៃឧបករណ៍នេះប្រើគោលដៅ magnetron ដើម្បីបំប្លែងសម្ភារៈថ្នាំកូតទៅជាភាគល្អិតទំហំណាណូម៉ែត្រ ដែលត្រូវបានដាក់នៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើង។ខ្សែភាពយន្តរមៀលត្រូវបានដាក់នៅក្នុងបន្ទប់ខ្វះចន្លោះ។តាមរយៈរចនាសម្ព័ន្ធខ្យល់ដែលជំរុញដោយអគ្គិសនី ចុងម្ខាងទទួលខ្សែភាពយន្ត ហើយមួយទៀតដាក់ខ្សែភាពយន្ត។វាបន្តឆ្លងកាត់តំបន់គោលដៅ និងទទួលបានភាគល្អិតគោលដៅដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តក្រាស់។
លក្ខណៈ៖
1. ការបង្កើតខ្សែភាពយន្តសីតុណ្ហភាពទាប។សីតុណ្ហភាពមានឥទ្ធិពលតិចតួចលើខ្សែភាពយន្ត ហើយនឹងមិនបង្កើតការខូចទ្រង់ទ្រាយឡើយ។វាសមស្របសម្រាប់ PET, PI និងខ្សែភាពយន្តសម្ភារៈមូលដ្ឋានផ្សេងទៀត។
2. កម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានរចនា។ថ្នាំកូតស្តើងឬក្រាស់អាចត្រូវបានរចនានិងដាក់ដោយការកែតម្រូវដំណើរការ។
3. ការរចនាទីតាំងគោលដៅច្រើន ដំណើរការអាចបត់បែនបាន។ម៉ាស៊ីនទាំងមូលអាចត្រូវបានបំពាក់ដោយគោលដៅចំនួនប្រាំបីដែលអាចត្រូវបានប្រើជាគោលដៅលោហៈសាមញ្ញឬគោលដៅសមាសធាតុនិងអុកស៊ីដ។វាអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្តស្រទាប់តែមួយដែលមានរចនាសម្ព័ន្ធតែមួយឬខ្សែភាពយន្តពហុស្រទាប់ដែលមានរចនាសម្ព័ន្ធសមាសធាតុ។ដំណើរការគឺមានភាពបត់បែនខ្លាំង។
គ្រឿងបរិក្ខារអាចរៀបចំខ្សែភាពយន្តការពារអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច ថ្នាំកូតបន្ទះសៀគ្វីដែលអាចបត់បែនបាន ខ្សែភាពយន្ត dielectric ផ្សេងៗ ខ្សែភាពយន្តប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង AR ច្រើនស្រទាប់ ខ្សែភាពយន្តប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំងខ្ពស់ HR ខ្សែភាពយន្តពណ៌។ល។ អាចត្រូវបានបញ្ចប់ដោយការទម្លាក់ខ្សែភាពយន្តតែម្តង។
ឧបករណ៍នេះអាចទទួលយកគោលដៅលោហៈសាមញ្ញដូចជា Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl ជាដើម ឬគោលដៅរួមដូចជា SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO ជាដើម។
គ្រឿងបរិក្ខារមានទំហំតូច បង្រួមក្នុងការរចនារចនាសម្ព័ន តូចនៅជាន់ ការប្រើប្រាស់ថាមពលទាប និងអាចបត់បែនបានក្នុងការកែតម្រូវ។វាស័ក្តិសមបំផុតសម្រាប់ដំណើរការស្រាវជ្រាវ និងការអភិវឌ្ឍន៍ ឬការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំ។