បច្ចេកវិជ្ជាបន្ទោរបង់ជំនួយ ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង

តាមពិតទៅ បច្ចេកវិជ្ជាដាក់ជំនួយ អ៊ីយ៉ុង ប៊ីម គឺជាបច្ចេកវិជ្ជាផ្សំ។វាគឺជាបច្ចេកទេសព្យាបាលអ៊ីយ៉ុងលើផ្ទៃផ្សំដែលរួមបញ្ចូលគ្នារវាងការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង និងបច្ចេកវិជ្ជានៃការបំភាយចំហាយរាងកាយ និងបច្ចេកទេសកែលម្អផ្ទៃធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងប្រភេទថ្មី។បន្ថែមពីលើគុណសម្បត្តិនៃការបញ្ចេញចំហាយរាងកាយ បច្ចេកទេសនេះអាចបន្តបង្កើតខ្សែភាពយន្តកម្រាស់ណាមួយនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌនៃការគ្រប់គ្រងដ៏តឹងរ៉ឹង ធ្វើអោយភាពភ្លឺថ្លា និងការតំរង់ទិសនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តកាន់តែគួរឱ្យកត់សម្គាល់ បង្កើនភាពស្អិតរបស់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត/ស្រទាប់ខាងក្រោម ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដង់ស៊ីតេ។ នៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត និងសំយោគខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុជាមួយនឹងសមាមាត្រ stoichiometric ដ៏ល្អនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ជិត រួមទាំងប្រភេទខ្សែភាពយន្តថ្មីដែលមិនអាចទទួលបាននៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ និងសម្ពាធ។ការដាក់ជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងមិនត្រឹមតែរក្សានូវគុណសម្បត្តិនៃដំណើរការផ្សាំអ៊ីយ៉ុងប៉ុណ្ណោះទេ ថែមទាំងអាចគ្របដណ្តប់ស្រទាប់ខាងក្រោមជាមួយនឹងខ្សែភាពយន្តខុសគ្នាទាំងស្រុងពីស្រទាប់ខាងក្រោម។
នៅក្នុងគ្រប់ប្រភេទនៃការបំភាយចំហាយរាងកាយ និងការបញ្ចេញចំហាយគីមី សំណុំនៃកាំភ្លើងអ៊ីយ៉ុងបំផ្ទុះជំនួយអាចត្រូវបានបន្ថែមដើម្បីបង្កើតប្រព័ន្ធ IBAD ហើយមានដំណើរការ IBAD ទូទៅចំនួនពីរដូចខាងក្រោម ដូចបង្ហាញក្នុងរូបភាព៖

ដូចដែលបានបង្ហាញនៅក្នុងរូបភាព (a) ប្រភពរំហួតនៃធ្នឹមអេឡិចត្រុងត្រូវបានប្រើដើម្បី irradiate ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តជាមួយនឹងធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងដែលបញ្ចេញចេញពីកាំភ្លើងអ៊ីយ៉ុង ដូច្នេះការសម្រេចបាននូវធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងដែលបានជួយដល់ស្រទាប់។អត្ថប្រយោជន៍គឺថាថាមពល និងទិសដៅរបស់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងអាចកែតម្រូវបាន ប៉ុន្តែមានតែយ៉ាន់ស្ព័រតែមួយ ឬមានកំណត់ ឬសមាសធាតុអាចប្រើជាប្រភពរំហួតបាន ហើយសម្ពាធចំហាយនីមួយៗនៃធាតុផ្សំ និងសមាសធាតុយ៉ាន់ស្ព័រគឺខុសគ្នា ដែលធ្វើឱ្យវាពិបាក។ ដើម្បីទទួលបានស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តនៃសមាសធាតុប្រភពហួតដើម។
Pic (b) បង្ហាញពីការបំលាស់ទីរបស់ ion beam sputtering-assisted deposition ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាជា double ion beam sputtering deposition ដែលក្នុងនោះ គោលដៅធ្វើពីសម្ភារៈថ្នាំកូត ion beam sputtering ផលិតផល sputtering ត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាប្រភព។ខណៈពេលដែលដាក់វានៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង sputtering assisted deposition ត្រូវបានសម្រេចដោយការ irradiation ជាមួយប្រភពអ៊ីយ៉ុងមួយផ្សេងទៀត។អត្ថប្រយោជន៍នៃវិធីសាស្រ្តនេះគឺថាភាគល្អិត sputtered ខ្លួនវាមានថាមពលជាក់លាក់មួយ, ដូច្នេះមានការ adhesion ល្អប្រសើរជាងមុនជាមួយនឹងស្រទាប់ខាងក្រោម;សមាសធាតុណាមួយនៃគោលដៅអាចជាថ្នាំកូត sputtered ប៉ុន្តែក៏អាចជាប្រតិកម្ម sputtering ចូលទៅក្នុងខ្សែភាពយន្ត ងាយស្រួលក្នុងការកែសម្រួលសមាសភាពនៃខ្សែភាពយន្ត ប៉ុន្តែប្រសិទ្ធភាពនៃការទម្លាក់របស់វាទាប គោលដៅមានតម្លៃថ្លៃ និងមានបញ្ហាដូចជាការជ្រើសរើស sputtering ។