បច្ចេកវិជ្ជា​ផ្សំ​នៃ​ការ​ស្រោប​ដោយ​មេដែក និង​កាតូឌីក​ពហុ​ធ្នូ

ឧបករណ៍ថ្នាំកូតសមាសធាតុនៃ magnetron sputtering និង cathodic multi-arc ion coating អាចធ្វើការដាច់ដោយឡែក និងក្នុងពេលដំណាលគ្នា;អាចត្រូវបានតំកល់និងរៀបចំខ្សែភាពយន្តលោហៈសុទ្ធ ខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុដែក ឬខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុ។អាចជាស្រទាប់តែមួយនៃខ្សែភាពយន្ត និងខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុពហុស្រទាប់។

គុណសម្បត្តិរបស់វាដូចខាងក្រោមៈ
វាមិនត្រឹមតែរួមបញ្ចូលគ្នានូវគុណសម្បត្តិនៃថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងផ្សេងៗ និងគិតគូរពីការរៀបចំ និងការទម្លាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងសម្រាប់ផ្នែកផ្សេងៗនៃកម្មវិធីប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងអនុញ្ញាតឱ្យដាក់ និងរៀបចំខ្សែភាពយន្តពហុស្រទាប់ ឬខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុពហុស្រទាប់នៅក្នុងកន្លែងទំនេរដូចគ្នាផងដែរ។ បន្ទប់ថ្នាំកូតក្នុងពេលតែមួយ។
កម្មវិធីនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ប្រាក់ត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ បច្ចេកវិជ្ជារបស់វាមាននៅក្នុងទម្រង់ផ្សេងៗគ្នា ដែលមានលក្ខណៈធម្មតាដូចខាងក្រោមៈ
(1) សមាសធាតុនៃម៉ាញ៉េទិចមិនស្មើភាពគ្នា និងបច្ចេកវិជ្ជាផ្លាតអ៊ីយ៉ុង cathodic ។
ឧបករណ៍របស់វាត្រូវបានបង្ហាញដូចខាងក្រោម។វាគឺជាឧបករណ៍ថ្នាំកូតសមាសធាតុនៃគោលដៅមេដែក កូឡាឡាំពួរ និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង cathodic arc planar ដែលស័ក្តិសមសម្រាប់ទាំងថ្នាំកូតខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុ និងថ្នាំកូតខ្សែភាពយន្តតុបតែង។សម្រាប់ថ្នាំកូតឧបករណ៍ ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង cathodic arc ត្រូវបានប្រើដំបូងសម្រាប់ថ្នាំកូតស្រទាប់មូលដ្ឋាន ហើយបន្ទាប់មក គោលដៅ magnetron ជួរឈរត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការទម្លាក់ nitride និងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តផ្សេងទៀត ដើម្បីទទួលបានខ្សែភាពយន្តផ្ទៃឧបករណ៍កែច្នៃដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។
សម្រាប់ថ្នាំកូតតុបតែង ខ្សែភាពយន្តតុបតែង TiN និង ZrN អាចត្រូវបានដាក់ដោយថ្នាំកូតធ្នូ cathodic ជាមុនសិន ហើយបន្ទាប់មកលាបជាមួយលោហៈដោយប្រើគោលដៅ magnetron ហើយឥទ្ធិពលនៃសារធាតុ doping គឺល្អណាស់។

(2) បរិវេណនៃយន្តហោះភ្លោះ magnetron និងបច្ចេកទេស coating arc ion cathode ជួរឈរ។ឧបករណ៍ត្រូវបានបង្ហាញដូចខាងក្រោម។វាត្រូវបានប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាគោលដៅភ្លោះកម្រិតខ្ពស់ នៅពេលដែលគោលដៅភ្លោះពីរចំហៀងជាប់គ្នាភ្ជាប់ទៅនឹងការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលប្រេកង់មធ្យម វាមិនត្រឹមតែយកឈ្នះលើការបំពុលគោលដៅនៃ DC sputtering ភ្លើង និងគុណវិបត្តិផ្សេងទៀតនោះទេ។និងអាចដាក់ខ្សែភាពយន្តគុណភាពអុកស៊ីដ Al203, SiO2 ដូច្នេះភាពធន់ទ្រាំអុកស៊ីតកម្មនៃផ្នែកដែលស្រោបមានការកើនឡើងនិងប្រសើរឡើង។ជួរឈរពហុធ្នូគោលដៅដែលបានដំឡើងនៅចំកណ្តាលនៃបន្ទប់ខ្វះចន្លោះសម្ភារៈគោលដៅអាចត្រូវបានប្រើ Ti និង Zr មិនត្រឹមតែរក្សាគុណសម្បត្តិនៃអត្រាបំបែកពហុធ្នូខ្ពស់អត្រានៃការដាក់ប្រាក់ប៉ុណ្ណោះទេប៉ុន្តែថែមទាំងអាចកាត់បន្ថយ "ដំណក់ទឹក" យ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពនៅក្នុង ដំណើរការនៃការទម្លាក់គោលដៅពហុធ្នូរបស់យន្តហោះតូច អាចដាក់ប្រាក់ និងរៀបចំនូវភាពស្អិតទាបនៃខ្សែភាពយន្តលោហៈ ខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុ។ប្រសិនបើ Al និង Si ត្រូវបានគេប្រើជាសម្ភារៈគោលដៅសម្រាប់គោលដៅម៉ាញេទិកប្លង់ភ្លោះដែលបានដំឡើងនៅបរិវេណនោះ ខ្សែភាពយន្តលោហៈ-សេរ៉ាមិច Al203 ឬ Si0 អាចត្រូវបានតំកល់ និងរៀបចំ។លើសពីនេះ យន្តហោះតូចៗជាច្រើននៃប្រភពរំហួតពហុធ្នូអាចត្រូវបានដំឡើងនៅតាមបរិវេណ ហើយសម្ភារៈគោលដៅរបស់វាអាចជា Cr ឬ Ni ហើយខ្សែភាពយន្តដែក និងខ្សែភាពយន្តចម្រុះច្រើនអាចត្រូវបានដាក់ និងរៀបចំ។ដូច្នេះហើយ បច្ចេកវិជ្ជាថ្នាំកូតផ្សំនេះ គឺជាបច្ចេកវិជ្ជាថ្នាំកូតដែលផ្សំជាមួយនឹងកម្មវិធីជាច្រើន។