ಉಪಕರಣವು ಲಂಬ ಮುಂಭಾಗದ ಬಾಗಿಲಿನ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಕ್ಲಸ್ಟರ್ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.ಇದು ಲೋಹಗಳು ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ಸಾವಯವ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಳಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ವಿಶೇಷಣಗಳ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಆವಿಯಾಗಿಸಬಹುದು.ನಿಖರವಾದ ಜೋಡಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಅಳವಡಿಸಲಾಗಿದೆ, ಲೇಪನವು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಲೇಪನವು ಉತ್ತಮ ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.
GX600 ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳು ಸಾವಯವ ಬೆಳಕು-ಹೊರಸೂಸುವ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಅಥವಾ ಲೋಹದ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ನಿಖರವಾಗಿ, ಸಮವಾಗಿ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಣದಿಂದ ಆವಿಯಾಗಿಸಬಹುದು.ಇದು ಸರಳ ಚಿತ್ರ ರಚನೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.ಪೂರ್ಣ-ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪದ ನೈಜ-ಸಮಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪುನರಾವರ್ತನೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.ಆಪರೇಟರ್ನ ಕೌಶಲ್ಯಗಳ ಮೇಲಿನ ಅವಲಂಬನೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಇದು ಸ್ವಯಂ ಕರಗುವ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.
ಉಪಕರಣವನ್ನು Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ಮತ್ತು ಇತರ ಲೋಹದ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಅನ್ವಯಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಲೋಹದ ಫಿಲ್ಮ್, ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಲೇಯರ್ ಫಿಲ್ಮ್, IMD ಫಿಲ್ಮ್ ಇತ್ಯಾದಿಗಳಿಂದ ಲೇಪಿಸಬಹುದು. ಇದನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕದಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಉದ್ಯಮ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾಧನಗಳು, ಅರೆವಾಹಕ ಹಿಂಭಾಗದ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ತಲಾಧಾರದ ಲೇಪನ, ಇತ್ಯಾದಿ.
GX600 | GX900 |
φ600*800(ಮಿಮೀ) | φ900*H1050(ಮಿಮೀ) |