ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಚಿತ್ರಗಳ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು

① ಉತ್ತಮ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪದ ಪುನರಾವರ್ತನೆ

ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ಪೂರ್ವನಿರ್ಧರಿತ ಮೌಲ್ಯದಲ್ಲಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದೇ ಎಂಬುದನ್ನು ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪ ನಿಯಂತ್ರಣ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ಹಲವು ಬಾರಿ ಪುನರಾವರ್ತಿಸಬಹುದು, ಇದನ್ನು ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪ ಪುನರಾವರ್ತನೆ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಏಕೆಂದರೆ ನಿರ್ವಾತ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನದ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಕರೆಂಟ್ ಮತ್ತು ಟಾರ್ಗೆಟ್ ಕರೆಂಟ್ ಅನ್ನು ಪ್ರತ್ಯೇಕವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು.ಆದ್ದರಿಂದ, ಸ್ಪಟರ್ಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ನ ದಪ್ಪವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಪೂರ್ವನಿರ್ಧರಿತ ದಪ್ಪವಿರುವ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಬಹುದು.ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಸ್ಪಟರ್ ಲೇಪನವು ದೊಡ್ಡ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಏಕರೂಪದ ದಪ್ಪವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು.

② ಫಿಲ್ಮ್ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವೆ ಬಲವಾದ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ

ಚೆಲ್ಲಾಪಿಲ್ಲಿಯಾದ ಪರಮಾಣುಗಳ ಶಕ್ತಿಯು ಆವಿಯಾದ ಪರಮಾಣುಗಳಿಗಿಂತ 1-2 ಆರ್ಡರ್‌ಗಳಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದಲ್ಲಿರುತ್ತದೆ.ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲಾದ ಉನ್ನತ-ಶಕ್ತಿಯ ಸ್ಪಟರ್ಡ್ ಪರಮಾಣುಗಳ ಶಕ್ತಿಯ ಪರಿವರ್ತನೆಯು ಆವಿಯಾದ ಪರಮಾಣುಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನದಾಗಿದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಾಖವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಚೆಲ್ಲುವ ಪರಮಾಣುಗಳು ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವಿನ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಕೆಲವು ಉನ್ನತ-ಶಕ್ತಿಯ ಚೆಲ್ಲುವ ಪರಮಾಣುಗಳು ವಿವಿಧ ಹಂತದ ಇಂಜೆಕ್ಷನ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪತ್ತಿ ಮಾಡುತ್ತವೆ, ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಸೂಡೊಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಪದರವನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ.ಇದರ ಜೊತೆಯಲ್ಲಿ, ಫಿಲ್ಮ್ ರಚನೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಯಾವಾಗಲೂ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ದುರ್ಬಲ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪರಮಾಣುಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಶುದ್ಧೀಕರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.ಆದ್ದರಿಂದ, ಚೆಲ್ಲುವ ಚಿತ್ರವು ತಲಾಧಾರಕ್ಕೆ ಬಲವಾದ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.

③ ಗುರಿಗಿಂತ ವಿಭಿನ್ನವಾದ ಹೊಸ ವಸ್ತು ಚಲನಚಿತ್ರವನ್ನು ತಯಾರಿಸಬಹುದು

ಗುರಿಯೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುವಂತೆ ಮಾಡಲು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅನಿಲವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಿದರೆ, ಗುರಿಗಿಂತ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ವಿಭಿನ್ನವಾದ ಹೊಸ ವಸ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು.ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಅನ್ನು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿಯಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕ ಮತ್ತು ಆರ್ಗಾನ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಒಟ್ಟಿಗೆ ಸೇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ನಂತರ, SiOz ಇನ್ಸುಲೇಟಿಂಗ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು.ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅನ್ನು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿಯಾಗಿ ಬಳಸಿ, ಸಾರಜನಕ ಮತ್ತು ಆರ್ಗಾನ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಒಟ್ಟಿಗೆ ಸೇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ನಂತರ ಹಂತ TiN ಚಿನ್ನದಂತಹ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು.

④ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಚಲನಚಿತ್ರ

ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಫಿಲ್ಮ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಸಾಧನದಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಅಂಶವಿಲ್ಲದ ಕಾರಣ, ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಹೀಟರ್ ವಸ್ತುಗಳ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದಲ್ಲಿ ಮಿಶ್ರಣ ಮಾಡಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ.ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನದ ಅನಾನುಕೂಲಗಳು ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ಲೇಪನಕ್ಕಿಂತ ಫಿಲ್ಮ್ ರಚನೆಯ ವೇಗವು ನಿಧಾನವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ತಲಾಧಾರದ ಉಷ್ಣತೆಯು ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಅಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲದಿಂದ ಪ್ರಭಾವಿತವಾಗುವುದು ಸುಲಭ ಮತ್ತು ಸಾಧನದ ರಚನೆಯು ಹೆಚ್ಚು ಸಂಕೀರ್ಣವಾಗಿದೆ.

ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಗುವಾಂಗ್‌ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್‌ಹುವಾ, ತಯಾರಕರು ಪ್ರಕಟಿಸಿದ್ದಾರೆನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳು