ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ನೇರ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ನೇರ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಆಂತರಿಕ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಬಾಹ್ಯ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ಉಪಕರಣಗಳೆರಡಕ್ಕೂ ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸರಳವಾಗಿದೆ, ಆದರೆ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದಲ್ಲಿ ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ ಆಯ್ಕೆಯು ಹೆಚ್ಚು ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಪಾಲಿಮರ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಭಾವ ಬೀರುತ್ತವೆ.

ನೇರ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಹಂತಗಳು ಹೀಗಿವೆ:

(1) ನಿರ್ವಾತಗೊಳಿಸುವಿಕೆ

ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದ ಹಿನ್ನೆಲೆ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು 1.3 × 10-1Pa ಗೆ ಪಂಪ್ ಮಾಡಬೇಕು.ಆಮ್ಲಜನಕ ಅಥವಾ ಸಾರಜನಕದ ಅಂಶವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ವಿಶೇಷ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ, ಹಿನ್ನೆಲೆ ನಿರ್ವಾತದ ಅಗತ್ಯವು ಇನ್ನೂ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ.

(2) ಚಾರ್ಜ್ ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಮಾನೋಮರ್ ಅಥವಾ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಮತ್ತು ಮಾನೋಮರ್‌ನ ಮಿಶ್ರ ಅನಿಲ

ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿ 13-130Pa ಆಗಿದೆ.ಕೆಲಸದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ, ಸೂಕ್ತವಾದ ಹರಿವಿನ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮೋಡ್ ಮತ್ತು ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 10.100mL/min ಅನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬೇಕು.ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಲ್ಲಿ, ಶಕ್ತಿಯುತ ಕಣಗಳ ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟದಿಂದ ಮೊನೊಮರ್ ಅಣುಗಳು ಅಯಾನೀಕರಿಸಲ್ಪಡುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ವಿಘಟಿಸಲ್ಪಡುತ್ತವೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಅಯಾನುಗಳು ಮತ್ತು ಸಕ್ರಿಯ ಜೀನ್‌ಗಳಂತಹ ಸಕ್ರಿಯ ಕಣಗಳು ಉಂಟಾಗುತ್ತವೆ.ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಿಂದ ಸಕ್ರಿಯಗೊಂಡ ಸಕ್ರಿಯ ಕಣಗಳು ಅನಿಲ ಹಂತ ಮತ್ತು ಘನ ಹಂತದ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ನಲ್ಲಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗಬಹುದು.ಮೊನೊಮರ್ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದ ಪೂರ್ವಗಾಮಿ ಮೂಲವಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ಇನ್‌ಪುಟ್ ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಮತ್ತು ಮೊನೊಮರ್ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರಬೇಕು.

(3) ಪ್ರಚೋದಕ ವಿದ್ಯುತ್ ಪೂರೈಕೆಯ ಆಯ್ಕೆ

ಪಾಲಿಮರೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪರಿಸರವನ್ನು ಒದಗಿಸಲು DC, ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ, RF ಅಥವಾ ಮೈಕ್ರೋವೇವ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಮೂಲಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಬಹುದು.ಪಾಲಿಮರ್ನ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಅಗತ್ಯತೆಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ವಿದ್ಯುತ್ ಪೂರೈಕೆಯ ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

(4) ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಮೋಡ್ನ ಆಯ್ಕೆ

ಪಾಲಿಮರ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗಾಗಿ, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣವು ಎರಡು ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದು: ನಿರಂತರ ವಿಸರ್ಜನೆ ಅಥವಾ ನಾಡಿ ವಿಸರ್ಜನೆ.

(5) ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ಆಯ್ಕೆ

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣವನ್ನು ನಡೆಸುವಾಗ, ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ನಿಯತಾಂಕಗಳು, ಪಾಲಿಮರ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ರಚನೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಂದ ಪರಿಗಣಿಸಬೇಕಾಗಿದೆ.ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಅನ್ವಯಿಕ ಶಕ್ತಿಯ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯ ಪರಿಮಾಣ, ವಿದ್ಯುದ್ವಾರದ ಗಾತ್ರ, ಮೊನೊಮರ್ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ ಮತ್ತು ರಚನೆ, ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ದರ ಮತ್ತು ಪಾಲಿಮರ್ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯಿಂದ ನಿರ್ಧರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಚೇಂಬರ್ ಪರಿಮಾಣವು 1L ಆಗಿದ್ದರೆ ಮತ್ತು RF ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡರೆ, ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಪವರ್ 10 ~ 30W ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿರುತ್ತದೆ.ಅಂತಹ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ, ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಒಟ್ಟುಗೂಡಿಸುತ್ತದೆ.ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ಫಿಲ್ಮ್‌ನ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ದರವು ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು, ಮೊನೊಮರ್ ಪ್ರಕಾರ ಮತ್ತು ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳೊಂದಿಗೆ ಬದಲಾಗುತ್ತದೆ.ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಬೆಳವಣಿಗೆ ದರವು 100nm/min~1um/min ಆಗಿದೆ.

(6) ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದಲ್ಲಿ ನಿಯತಾಂಕ ಮಾಪನ

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದಲ್ಲಿ ಅಳೆಯಬೇಕಾದ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಸೇರಿವೆ: ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ವೋಲ್ಟೇಜ್, ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಕರೆಂಟ್, ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಆವರ್ತನ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ತಾಪಮಾನ, ಸಾಂದ್ರತೆ, ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಗುಂಪಿನ ಪ್ರಕಾರ ಮತ್ತು ಸಾಂದ್ರತೆ, ಇತ್ಯಾದಿ.

——ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಗುವಾಂಗ್‌ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್‌ಹುವಾ ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಿದೆ, aಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರಗಳ ತಯಾರಕ.