ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹರಿವು

1. ಬಾಂಬ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ತಲಾಧಾರ

1.1) ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರವು ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ.ಅಂದರೆ, ಆರ್ಗಾನ್ ಅನಿಲವನ್ನು ಚೇಂಬರ್‌ಗೆ ಚಾರ್ಜ್ ಮಾಡಿ, ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಸುಮಾರು 1000V ಆಗಿದೆ, ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜನ್ನು ಆನ್ ಮಾಡಿದ ನಂತರ, ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆರ್ಗಾನ್ ಅಯಾನ್ ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟದಿಂದ ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

1.2) ಕೈಗಾರಿಕಾವಾಗಿ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಆಭರಣಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ, ಸಣ್ಣ ಆರ್ಕ್ ಮೂಲಗಳಿಂದ ಹೊರಸೂಸಲ್ಪಟ್ಟ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರವು ಸಣ್ಣ ಆರ್ಕ್ ಮೂಲವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಸಣ್ಣ ಆರ್ಕ್ ಮೂಲ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ನಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಆರ್ಕ್ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಲ್ಲಿನ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಯಾನ್ ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಅನ್ನು ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟಿಸಲು ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

2. ಟೈಟಾನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಲೇಪನ

ಟೈಟಾನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವಾಗ, ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್‌ಗೆ ಗುರಿ ವಸ್ತು ಟೈಟಾನಿಯಂ ಗುರಿಯಾಗಿದೆ.ಗುರಿ ವಸ್ತುವನ್ನು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜಿನ ಋಣಾತ್ಮಕ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಕ್ಕೆ ಸಂಪರ್ಕಿಸಲಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ಗುರಿ ವೋಲ್ಟೇಜ್ 400 ~ 500V ಆಗಿದೆ;ಆರ್ಗಾನ್ ಫ್ಲಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ನಿವಾರಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಣ ನಿರ್ವಾತವು (3~8) x10 ಆಗಿದೆ^-1PAತಲಾಧಾರವು ಬಯಾಸ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜಿನ ಋಣಾತ್ಮಕ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಕ್ಕೆ ಸಂಪರ್ಕ ಹೊಂದಿದೆ, 100 ~ 200V ವೋಲ್ಟೇಜ್ನೊಂದಿಗೆ.

ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಗುರಿಯ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜನ್ನು ಆನ್ ಮಾಡಿದ ನಂತರ, ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಆರ್ಗಾನ್ ಅಯಾನುಗಳು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿಯ ಮೇಲೆ ಬಾಂಬ್ ದಾಳಿ ಮಾಡುತ್ತವೆ, ಗುರಿಯಿಂದ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಪರಮಾಣುಗಳನ್ನು ಚೆಲ್ಲುತ್ತವೆ.

ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಅನಿಲ ಸಾರಜನಕವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಲಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ಟೈಟಾನಿಯಂ ಪರಮಾಣುಗಳು ಮತ್ತು ಸಾರಜನಕವನ್ನು ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಯಾನುಗಳು ಮತ್ತು ಸಾರಜನಕ ಅಯಾನುಗಳಾಗಿ ಅಯಾನೀಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ತಲಾಧಾರಕ್ಕೆ ಅನ್ವಯಿಸಲಾದ ಋಣಾತ್ಮಕ ಪಕ್ಷಪಾತದ ವಿದ್ಯುತ್ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಆಕರ್ಷಣೆಯ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ, ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಯಾನುಗಳು ಮತ್ತು ಸಾರಜನಕ ಅಯಾನುಗಳು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಶೇಖರಣೆಗಾಗಿ ಟೈಟಾನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರವನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ವೇಗವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತವೆ.

3. ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಹೊರತೆಗೆಯಿರಿ

ಪೂರ್ವನಿರ್ಧರಿತ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ತಲುಪಿದ ನಂತರ, ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪವರ್ ಸಪ್ಲೈ, ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್ ಬಯಾಸ್ ಪವರ್ ಸಪ್ಲೈ ಮತ್ತು ಏರ್ ಸೋರ್ಸ್ ಅನ್ನು ಆಫ್ ಮಾಡಿ.ತಲಾಧಾರದ ಉಷ್ಣತೆಯು 120 ಡಿಗ್ರಿಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಾದ ನಂತರ, ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯನ್ನು ಗಾಳಿಯಿಂದ ತುಂಬಿಸಿ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಹೊರತೆಗೆಯಿರಿ.

ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಲಾಗಿದೆಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕ- ಗುವಾಂಗ್ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ.